INP/INGAAS

作品数:57被引量:56H指数:3
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:李献杰刘新宇曾庆明蔡道民任晓敏更多>>
相关机构:中国科学院中国电子科技集团第十三研究所中国科学院微电子研究所西安电子科技大学更多>>
相关期刊:《半导体技术》《光电子技术》《应用物理前沿(中英文版)》《Chinese Physics Letters》更多>>
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基于InP/InGaAs肖特基二极管的高灵敏太赫兹探测器
《太赫兹科学与电子信息学报》2025年第1期40-43,共4页周静涛 金智 苏永波 史敬元 丁武昌 张大勇 杨枫 刘桐 
InP/InGaAs肖特基二极管(SBDs)探测器因其高电子迁移率和低势垒材料特性,具有非常高的电压响应灵敏度,广泛用于高灵敏太赫兹波探测技术中。为进一步降低器件寄生效应,提升其高频性能,本文提出一种无衬底单台面T型结新型结构的肖特基器件...
关键词:太赫兹检测器 肖特基二极管(SBDs) T型结 无衬底单台面 
短波红外单光子探测器的发展(特邀)被引量:3
《红外与激光工程》2023年第3期27-42,共16页史衍丽 李云雪 白容 刘辰 叶海峰 黄润宇 侯泽鹏 马旭 赵伟林 张家鑫 王伟 付全 
量子保密通信关键技术研究与开发(2018ZI002);云南贵金属实验室科技计划项目(YPML-2022050220)。
InP/InGaAs短波红外单光子探测器(SPAD)是目前制备技术较为成熟且获得广泛应用的单光子探测器,通过半导体热电制冷(TEC)即可达到的工作温度(-40℃左右),具有体积小、成本低,方便安装和携带的应用优势;另外,基于常规半导体二极管的芯片...
关键词:短波红外 单光子探测器 INP/INGAAS 高温 高速 单光子焦平面 
一种InP/InGaAs PIN光电探测器芯片的设计与制作被引量:3
《电子质量》2022年第7期44-47,共4页赵媛媛 武传龙 高鹏飞 
In Ga As/In P PIN型光电探测器具有低暗电流、高灵敏度和响应速度快的特性,且能够吸收1-1.7μm红外波段光辐射,因此广泛应用于光纤通信系统。该文设计了一种平面型In Ga As/In P PIN光电探测器芯片,重点介绍了该芯片的外延结构与芯片...
关键词:INGAAS/INP PIN 外延 工艺 
非故意掺杂吸收层InP/InGaAs异质结探测器研究被引量:1
《红外与激光工程》2021年第11期62-69,共8页曹嘉晟 李淘 王红真 于春蕾 杨波 马英杰 邵秀梅 李雪 龚海梅 
中国科学院重点部署项目(ZDRW-CN-2019-3);中国科学院联合基金(6141A01170106);上海市级科技重大专项(2019SHZDZX01);国家自然科学基金(62075229)。
为了获得低噪声铟镓砷(InGaAs)焦平面,需要采用高质量的非故意掺杂InGaAs(u-InGaAs)吸收层进行探测器的制备。采用闭管扩散方式,实现了Zn元素在u-InGaAs吸收层晶格匹配InP/In0.53Ga0.47As异质结构材料中的P型掺杂,利用扫描电容显微技术(...
关键词:ZN扩散 结深 少子扩散长度 INGAAS 
InP/InGaAs探测器氮化硅钝化膜的ICPCVD生长技术被引量:1
《红外技术》2019年第6期511-514,共4页龚燕妮 杨文运 杨绍培 范明国 褚祝军 
云南省基础研究重大项目(2016FC002)
采用ICPCVD工艺对InP/InGaAs探测器进行SiNx薄膜钝化,讨论了不同气体比例、射频功率和反应压力对SiNx薄膜应力和致密性的影响。初步得到了低应力、良好致密性的SiNx薄膜沉积工艺。利用此工艺制作的InP/InGaAs探测器在偏压为-10mV的暗电...
关键词:InP/InGaAs探测器 ICPCVD 氮化硅 
Temperature dependence simulation and characterization for InP/InGaAs avalanche photodiodes
《Frontiers of Optoelectronics》2018年第4期400-406,共7页Yanli ZHAO Junjie TU Jingjing XIANG Ke WEN Jing XU Yang TIAN Qiang LI Yuchong TIAN Runqi WANG Wenyang LI Mingwei GUO Zhifeng LIU Qi TANG 
the National Hi-Tech Research and Development Program of China (No.2008AA1Z207);Natural Science Foundation of Hubei Province,China (No.2010CDB01606);Fundamental Research Funds for the Central Universities (HUST: 2016YXMS027);Huawei Innovation Research Program (Nos. YJCB2010032NW,YB2012120133,YB2014010026and YB2016040002);and Scientific Research Foundation for the Returned Overseas Chinese Scholars.
InP/InGaAs探测器对伪装目标成像研究被引量:1
《红外技术》2017年第10期873-879,共7页向梦 邵文斌 史衍丽 
云南省科技厅基础研究重点基金项目(2015FA040)
高性能InP/InGaAs宽光谱探测器将前截止波长延伸到0.9mm之前,实现可见/短波双波段探测,大大丰富了探测目标的信息量,提高对目标的识别率。本文采用InP/InGaAs宽光谱探测器相机,通过设置一系列伪装实验,对比不同伪装目标的可见光波图像...
关键词:短波红外 可见光 InP/InGaAs探测器 伪装 
Simulated study on the InP/InGaAs DHBT under proton irradiation
《Journal of Semiconductors》2016年第11期50-53,共4页刘敏 张玉明 吕红亮 张义门 
Project supported by the National Basic Research Program of China(No.2010CB327505);Advance Research project of China(No.51308xxxx06);Advance Research Foundation of China(No.9140A08xxxx11DZ111)
A 3D model simulation of InP/InGaAs/InP DHBT is reported in this paper. A comprehensive set of built-in physical models are described, including Stratton's hydrodynamic model, high-fields mobility model and thermioni...
关键词:heterojunction bipolar transistors proton irradiation INP/INGAAS cutoff frequency 
用于超高速数字集成电路的0.5um InP/InGaAs双异质结晶体管被引量:2
《红外与毫米波学报》2016年第3期263-266,共4页牛斌 程伟 张有涛 王元 陆海燕 常龙 谢俊领 
supported by National Natural Science Foundation of China(61474101,61504125)
报道了用于超高速数字集成电路的0.5μm发射级线宽的InP/InGaAs DBHT器件,及其100 GHz的静态分频器,其工作频率达到国内领先.并详细分析了器件CB结电容对影响高速数字应用的影响,其中Ccb/Ic达到0.4 ps/V,揭示其静态分频器具有工作在150 ...
关键词:磷化铟 双异质结晶体管 静态分频器 
台面型InP/InGaAs雪崩光电二极管刻蚀工艺研究
《应用物理前沿(中英文版)》2016年第1期1-7,共7页夏伟 邓军 牟桐 杜玉杰 
对比了ICP刻蚀和湿法腐蚀制备台面型InP/InGaAs雪崩光电二极管(APD)时侧壁、表面形貌的不同,以及对暗电流和击穿电压的影响。在Cl2/Ar2/CH4条件下感应耦合等离子体(ICP)刻蚀InP会出现表面粗糙,对其原因进行了探究。并主要对ICP的刻蚀时...
关键词:雪崩光电二极管(APD) INP/INGAAS ICP 台面型 暗电流 
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