张晓秋

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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
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分子束外延反射式高能电子衍射的强度振荡采集系统及其应用
《真空科学与技术学报》1990年第3期205-207,共3页张晓秋 朱战萍 孙殿照 孔梅影 曾一平 郑海群 阎春辉 
在分子束外延(MBE)设备上设计和装配了一套反射式高能电子衍射(RHEED)强度振荡的采集系统。用本系统在MBE生产GaAs和Al_xGa_(1-x)As材料时观察了RHEED强度振荡现象。并“在位”得到GaAs和Al_xGa_(1-x)As材料的生长速率和Al_xGa_(1-x)As...
关键词：高能电子衍射 分子束外延 采集系统 反射式 振荡现象 外延层 采集记录 摩尔分数 杂散光 超晶格 
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