白安琪

作品数：4被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：多孔氧化铝膜分子束外延生长分子束外延衬底氧化铝膜更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《物理学报》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
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Si(001)衬底上分子束外延生长Ge_(0.975)Sn_(0.025)合金薄膜被引量：5
《物理学报》2011年第2期707-711,共5页苏少坚 汪巍 张广泽 胡炜玄 白安琪 薛春来 左玉华 成步文 王启明 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613404);国家自然科学基金(批准号:61036003;60906035;51072194);中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(批准号:ISCAS2009T01)资助的课题~~
使用低、高温两步法生长的高质量Ge薄膜作为缓冲层,在Si(001)衬底上采用分子束外延法生长出Ge0.975Sn0.025合金薄膜.X射线双晶衍射和卢瑟福背散射谱等测试结果表明,Ge0.975Sn0.025合金薄膜具有很好的晶体质量,并且没有发生Sn表面分凝.另...
关键词：GeSn Ge 分子束外延 外延生长 
硅基室温电流注入Ge/Si异质结发光二极管
《激光与光电子学进展》2010年第3期14-14,共1页胡炜玄 成步文 薛春来 薛海韵 苏少坚 白安琪 罗丽萍 俞育德 王启明 
国家973计划(2007CB613404);国家863计划(2006AA03Z415);国家自炙科学基金(60676005)资助课题
目前，硅基光电集成所需的各个光子学单元已经取得了巨大的突破，并且与现有的微电子工艺完全兼容：硅基光波导在光通讯波段可以实现对光场的强限制以及低损耗传输；通过外延高质量的锗薄膜，实现了近红外波段的高速高量子效率的硅基光...
关键词：发光二极管 硅基 电流注入 异质结 近红外波段 Si Ge 室温 
用PAA模板法实现硅基纳米孔阵列结构被引量：2
《物理学报》2009年第7期4997-5001,共5页白安琪 胡迪 丁武昌 苏少坚 胡炜玄 薛春来 樊中朝 成步文 俞育德 王启明 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB613404);国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z415);国家自然科学基金(批准号:60676005)资助的课题~~
用二次阳极氧化方法制备出分立、双向贯通并且超薄(500—1000 nm)的多孔阳极氧化铝膜,贴合到硅片上进行干法刻蚀,实现图形转移,得到了硅基纳米孔阵列结构,并对工艺中影响图形转移质量的因素进行了探索.扫描电镜(SEM)测试结果表明该途径...
关键词：多孔阳极氧化铝模板 硅基纳米孔阵列结构 图形转移 
超薄阳极氧化铝模版的制备被引量：4
《微细加工技术》2008年第5期12-15,共4页胡迪 白安琪 成步文 王启明 
国家973计划资助项目(2007CB613404);国家863计划资助项目(2006AA03Z415);国家自然科学基金资助项目(60676005)
采用二次阳极氧化铝的方法制备出厚度仅为509 nm超薄多孔阳极氧化铝模版,氧化铝模版上孔洞大小均匀,呈完美的六角分布,孔径为35 nm左右,孔间距约为100 nm。成功地将多孔阳极氧化铝模版转移到硅衬底上,并在磷酸溶液中通孔,使薄膜上小孔...
关键词：阳极氧化铝 超薄 纳米结构 
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