马春兰

作品数：2被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：苏州铁道师范学院物理系更多>>
发文主题：基片温度ECR-CVDECR非晶碳膜等离子体更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《微细加工技术》更多>>
所获基金：江苏省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
使用ECR苯等离子体沉积含氢非晶碳薄膜
《微细加工技术》2000年第4期28-35,共8页马春兰 程珊华 宁兆元 叶超 康健 辛煜 
江苏省自然科学基金资助项目!(L310 870 3)
用苯作工作气体 ,在一个电子回旋共振 (ECR)微波等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜 (a -C :H) .对苯等离子体作了质谱分析 ,发现苯分解后形成的主要基团是C2 H4等 ,而不是常规甲烷放电的CH3,这将影响膜的结构。实验中还考...
关键词：ECR-CVD 基片温度 非晶碳膜 苯等离子体 沉积 
氢化非晶碳膜导电机制的探索
《铁道师院学报》2000年第4期35-41,共7页马春兰 
采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (ECR -CVD)方法 ,以苯为气源 ,在不同基片温度下制备了氢化非晶碳膜 (a -C :H) ,对样品进行了伏安特性测试。考察了基片温度对样品电阻率与击穿场强的影响 ,结合薄膜含氢量、SEM、Raman散射等分...
关键词：基片温度 导电机制 氧化非晶碳膜 ECR-CVD方法 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部