非晶碳膜

作品数：76被引量：177H指数：7
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C_(2)H_(2)流量对反应溅射石墨制备非晶碳膜层结构及性能影响研究
《表面技术》2024年第3期113-122,共10页刘京周 鞠鹏飞 周宏 邢明秀 吴国华 张鼎元 
国家重点研发计划(2022YFB4600103);上海市优秀技术带头人计划(20XD1431400);上海市自然科学基金(21ZR1427900);国防基础科研计划(JCKY2020203B037)。
目的研究反应溅射石墨制备非晶碳过程中乙炔流量变化对非晶碳微观结构、力学性能及摩擦学性能的影响规律。方法通过在乙炔气氛中反应溅射石墨靶,调控乙炔流量,制备不同结构的非晶碳膜层,采用X射线光电子能谱仪、激光共聚焦拉曼光谱仪分...
关键词：乙炔 反应溅射 非晶碳 微观结构 力学性能 摩擦学性能 
制备厘米尺寸单层多孔非晶碳膜
《中学化学教学参考》2024年第4期49-49,共1页
西安石油大学讲师何萌团队以改性的富勒烯单体为前驱体,制备了厘米尺寸的单层多孔非晶碳膜。相关研究成果近日发表于《先进科学》。超薄纳米多孔膜在海水淡化、盐差发电和生物医学等领域有巨大的应用潜力,纳米厚度使物质跨膜输运阻力大...
关键词：生物医学 非晶碳膜 西安石油大学 海水淡化 富勒烯 纳米多孔膜 纳米厚度 研究成果 
掺杂非晶碳膜制备、性能及应用
《上海涂料》2023年第5期17-21,共5页杨挺 王涛 吴春春 申乾宏 杨辉 
采用磁控溅射方法制备铬(Cr)掺杂非晶碳膜(a-C:Cr),通过XPS、SEM研究了Cr的掺杂比例对非晶碳膜结构与薄膜疏水性能、导电性能、摩擦因数等影响。结果表明:随着Cr掺杂量由0.9%增加到61.07%,薄膜表面愈发粗糙;接触角由79.71°增加到95.56...
关键词：非晶碳膜 铬掺杂 疏水性 导电性 射频消融 
硅掺杂无氢非晶碳膜的HiPIMS/DCMS共沉积制备及其高温摩擦学性能被引量：4
《摩擦学学报》2023年第4期385-396,共12页李海潮 苏峰华 陈彦军 林松盛 李助军 
国家自然科学基金项目(52175168);173项目(2021-JCJQ-JJ-0175);广东省特支计划团队项目(2019BT02C629);广东省科学院发展专项资金项目(2022GDASYL-2022010103)资助.
采用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和直流磁控溅射(DCMS)共沉积技术制备了不同硅原子含量的无氢Si-DLC薄膜,利用高温摩擦试验机对比考察了不同Si原子含量的Si-DLC(硅掺杂类金刚石)薄膜在25~500℃下的摩擦学性能,并通过Raman及XPS等测试方...
关键词：Si-DLC薄膜 高功率脉冲磁控溅射 高温 摩擦学性能 摩擦机理 
基体偏压对非晶碳膜结构和耐蚀性的影响
《燃气涡轮试验与研究》2023年第2期56-62,共7页金鹏 王广飞 吴礼硕 尚佳乐 刘兴光 郑军 孙吉 
中国航空发动机集团产学研项目(HFZL2021CXY026)。
薄膜沉积过程中较高基体偏压能增强C膜对金属基体的保护,降低自腐蚀电流密度,提高自腐蚀电位。用磁控溅射法在4种偏压(0,-50,-100,-200 V)下制备Cr/CrN/C非晶碳多层薄膜,研究其结构和耐蚀性。观测了薄膜表面形貌和粗糙度,测量了C层中D峰...
关键词：基体偏压 磁控溅射法 非晶碳膜 显微结构 耐蚀性能 电化学测试 
SiH_(4)流量对燃料电池用钛合金板表面PECVD制备C:Si膜组织及耐蚀性的影响
《稀有金属与硬质合金》2022年第6期68-71,98,共5页屈涛 张八合 
陕煤联合基金项目(2019JLZ-12)。
采用甲烷作为碳源,利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺在电池极板用钛合金板表面制得一层含硅非晶碳(C:Si)膜,对比了通入不同流量的SiH_(4)所制备C:Si膜在导电性、疏水性、耐蚀性、厚度上的差异,深入分析了SiH_(4)流量引起C:Si膜性...
关键词：含硅非晶碳膜 钛合金板 SiH_(4)流量 组织 耐腐蚀性能 电化学性能 燃料电池 
氩气流量对非晶碳膜结构及力学和摩擦学性能的影响被引量：2
《表面技术》2021年第10期263-269,共7页冯兴国 周晖 张延帅 郑宇 张凯锋 汪科良 杨拉毛草 张宝荣 赵志勇 郑军 刘兴光 郑玉刚 
目的提升9Cr18不锈钢表面的耐磨损性能。方法在不同氩气流量条件下,采用激光引弧磁过滤阴极电弧离子镀制备非晶碳膜。利用拉曼光谱、X射线光电子能谱仪(XPS)和原子力显微镜(AFM)表征薄膜的微观结构和化学态。利用薄膜综合性能测试仪和...
关键词：电弧离子镀 氩气流量 非晶碳膜 微观结构 硬度 摩擦学性能 
基于非晶碳膜压阻效应的MEMS压力传感器研究被引量：4
《表面技术》2020年第6期60-67,共8页马鑫 张琪 郭鹏 同笑珊 赵玉龙 汪爱英 
国家自然科学基金(51805425);王宽诚基金团队人才基金(GJTD-2019-13);陕西省自然科学基金(2018JQ5018)。
目的研究非晶碳膜的压阻性能和机理,并将其作为压敏电阻应用于MEMS压力传感器敏感电路中。方法使用直流溅射工艺制备非晶碳膜压敏薄膜材料,对典型样品进行内部组分和电学、力学、温度等性能测试和研究,使用有限元方法进行器件设计仿真,...
关键词：非晶碳膜 压阻效应 压阻机理 MEMS 压力传感器 厚膜理论 
硅烷流量对钛合金双极板表面改性碳膜性能的影响被引量：4
《表面技术》2020年第6期76-84,共9页牟志星 张兴凯 高凯雄 张斌 王兆龙 贾倩 张俊彦 
中国科学院青年创新促进会项目(2017459,2019412);国家自然科学基金(51911530114);兰州市人才创新创业项目(2019-RC-16);兰州市城关区人才创新创业项目(2019-4-1)。
目的通过对钛合金基底进行表面改性,提高其作为质子交换膜燃料电池(PEMFC)金属双极板的耐蚀导电性能。方法通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),调控不同的SiH4流量(0~10 mL/min),在钛基底表面制备了含硅非晶碳膜。利用电化学工作站...
关键词：钛合金 非晶碳膜 金属双极板 表面改性 燃料电池 电化学性能 
液氮激冷对含氢非晶碳膜性能的影响被引量：3
《摩擦学学报》2020年第1期82-88,共7页王兆龙 薛勇 张斌 高凯雄 强力 牟志星 王凯 
国家自然基金项目(U1737213);青年创新促进会项目(2017459)资助。
采用等离子增强化学气相沉积系统制备了含氢非晶碳膜.加热到相应温度(200、250、300、350和400℃)后,对薄膜进行液氮激冷处理,并研究其结构、机械及摩擦性能的变化.结果表明:薄膜硬度在200~300℃温度下液氮激冷后,其硬度随热处理温度增...
关键词：含氢非晶碳膜 激冷 摩擦 磨损 热稳定性 
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