李光杨

作品数：3被引量：8H指数：2
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：微电铸镀液微结构超声清洗超薄膜更多>>
发文领域：化学工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：上海市科委科研计划项目国家重点实验室开放基金更多>>
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水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响被引量：4
《传感器与微系统》2011年第6期20-23,共4页陈晖 汪红 李光杨 姚锦元 王艳 丁桂甫 
上海市科委科研计划资助项目(0852nm02600);国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79)
利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究不同流动方式对均匀性的影响。模拟结果表明:当物质传递成为控制步骤时,增强对流—扩散虽然有利于物质传...
关键词：微电铸 对流—扩散传质 传质阻力 流动方式 
提高微结构表面在镀液中的润湿性被引量：3
《微纳电子技术》2010年第11期708-712,717,共6页李光杨 汪红 谭姣姣 杨卓青 姚锦元 丁桂甫 
国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79);上海市科委科研计划项目(0852nm02600)
为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FT...
关键词：光刻胶 表面改性 接触角 润湿性 微结构 
对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响被引量：1
《传感器与微系统》2010年第8期41-43,47,共4页陈晖 李光杨 汪红 王艳 丁桂甫 赵小林 
上海市科委科研计划资助项目(0852nm02600);国家重点实验室基金资助项目(9140C79030302090C79)
利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流—扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时,...
关键词：微电铸 对流-扩散传质 渗透流 回流 
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