甄万财

作品数：5被引量：12H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：光刻主轴刀片光强光刻机更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-5
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光刻机光强影响因素分析被引量：1
《电子工业专用设备》2017年第5期18-21,共4页孙明睿 李雪 甄万财 
曝光系统是接触接近式光刻机的核心部件,系统的曝光强度对光刻工艺有很大的影响。通过对曝光光路系统进行详细分析,对影响光强的各种因素进行了论述和计算,为进一步改善曝光系统光强指明了方向。
关键词：光刻机 曝光系统 曝光强度 
浅谈曲面直写式光刻工艺
《电子工业专用设备》2015年第6期41-44,共4页甄万财 孙明睿 
针对一些曲面栅网器件的加工工艺,从实验装置、光刻原理、光刻工艺及参数要求等方面进行了分析,为后续深入开展曲面直写式光刻工艺打下了基础。
关键词：半导体设备 曲面 直写式 光刻 
一种激光直写式光刻光路系统
《电子工业专用设备》2015年第5期18-20,49,共4页孙明睿 甄万财 
针对曲面栅网器件的光刻工艺,提出了一种可动态调焦的激光直写式光刻系统,该系统将紫外激光器的光束经过整形扩束、动态z向调焦、x/y振镜、聚焦等单元使器件上相应位置涂覆的光刻胶直接感光,再经过显影、刻蚀等工艺直接制作出相应器件...
关键词：动态调焦 直写式 光刻 
划片机维护与保养
《电子工业专用设备》2004年第8期67-68,共2页甄万财 
针对划片机的维护与保养提供了一些建设性意见,并对常见故障进行分析的同时也提出了解决方法。
关键词：划片机 维护 保养 故障分析 
砂轮划片机划切技术的研究被引量：11
《电子工业专用设备》2004年第9期68-71,共4页甄万财 
砂轮划片机划切技术的研究和应用直接关系到设备应用的好坏。对划切中关键的参数主轴转速、划切速度、基片固定、刀片等进行了系统分析研究,具有指导性地提出了选择该类参数的方法。
关键词：主轴 刀片 冷却 基片固定 划切速度 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部