蒋煜婧

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：北京理工大学更多>>
发文主题：纳米晶磁控溅射传输线模型SNO2薄膜接触特性更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《光学技术》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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纳米晶SnO2薄膜的结晶特性被引量：2
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期110-113,共4页王占和 吴海霞 蒋煜婧 邢懋腾 詹杰 
采用磁控溅射技术，使用混合气体Ar和O2，在衬底温度为150-400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2：Sb透明导电薄膜，通过测定X射线衍射谱，表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向，测量了SnO2：Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化以及纳米...
关键词：磁控溅射 纳米晶 SNO2薄膜 结晶特性 FE—SEM 
纳米晶氧化锡薄膜的接触特性被引量：2
《光学技术》2001年第4期346-347,共2页王占和 郝群 祝侃 蒋煜婧 
国家留学回国人员科研启动基金资助项目
在 Ar和 O2 气体中 ,基片温度在 15 0～ 40 0℃的条件下 ,用直流磁控溅射的方法可以制备纳米晶透明导电薄膜。实验利用 TL M模型测试了纳米晶 Sn O2 透明导电薄膜的方块电阻。
关键词：氧化锡薄膜 纳米晶 电极 传输线模型 接触特性 
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