陈烽

作品数：6被引量：17H指数：3
导出分析报告
供职机构：清华大学更多>>
发文主题：电泳沉积干涉法微机电系统微悬臂梁量程更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
双波长集成光栅干涉微位移测量方法被引量：6
《光学精密工程》2012年第11期2433-2438,共6页陈烽 叶雄英 伍康 冯金扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50730009;No.91023027)
介绍了一种基于双波长激光的集成光栅干涉位移检测方法,利用该方法对硅-玻璃键合工艺制作的集成光栅位移敏感芯片进行了测试实验。实验系统主要由敏感芯片、波长为640nm和660nm的双波长半导体激光器、双光电二极管及检测电路组成,敏感...
关键词：位移测量 集成光栅 双波长干涉法 扩量程 
集成双光栅干涉微梁位移测量方法被引量：2
《光学精密工程》2012年第8期1747-1753,共7页冯金扬 叶雄英 陈烽 商院芳 
国家自然科学基金资助项目(No.91023027;No.50730009)
介绍了一种基于集成双光栅干涉和CCD图像测量的微梁位移测量方法,并利用相位差约为π/2的一组光栅实现了扩量程位移检测。利用表面牺牲层工艺制作敏感芯片,在玻璃基底上刻蚀深度约为入射激光波长1/8的凹槽,凹槽上下的两组光栅与正上方...
关键词：位移测量 集成双光栅干涉法 图像测量 微悬臂梁 扩量程 
带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计被引量：3
《纳米技术与精密工程》2011年第1期21-25,共5页伍康 叶雄英 陈烽 刘力涛 周兆英 
国家自然科学基金资助项目(50730009)
设计了一种静电力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计,加速度计由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动电路和反馈控制电路组成.敏感芯片为玻璃-硅-玻璃3层结构,通过硅-玻璃键合体硅工艺制成.硅质量块由铝梁支撑,底部...
关键词：微加速度计 光栅 干涉 力反馈 三明治 
环形蠕动微泵的优化仿真和实验
《纳米技术与精密工程》2010年第4期323-329,共7页杜敏 叶雄英 伍康 陈烽 周兆英 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2007CB310504)
本文分析了矩形截面环形蠕动微泵存在的泄漏问题及其对微泵性能的影响,减小泄漏是提高微泵背压和自吸能力的有效途径.通过Ansys有限元建立二维接触模型,模拟了各参数项对微泵泄漏率的影响,得出影响微泵泄漏率的主要参数为深宽比和挤压力...
关键词：微流体 微泵 环形蠕动泵 泄漏 
集成光栅干涉微位移测量方法被引量：6
《纳米技术与精密工程》2009年第1期56-59,共4页伍康 叶雄英 刘力涛 陈烽 周兆英 
国家自然科学重点基金资助项目(50730009)
介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、...
关键词：位移测量 干涉法 衍射光栅 微机电系统 
MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究被引量：1
《传感技术学报》2006年第05B期2340-2343,共4页郭琳瑞 陈烽 叶雄英 刘力涛 伍康 周兆英 
国家自然科学基金资助(50375083);高等学校博士学科点专项科研基金资助(20040003065)
利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜...
关键词：微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 碳纳米管 场发射 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部