刘力涛

作品数：5被引量：11H指数：2
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：微机电系统碳纳米管场发射纳米管纳机电系统更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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形状记忆合金驱动的常闭型主动阀(英文)被引量：2
《纳米技术与精密工程》2011年第6期551-554,共4页杜敏 叶雄英 刘力涛 施鏐佳 
the Major State Basic Research Development Program of China("973" Program,2007CB310504)~~
本文研究了一种基于形状记忆合金(SMA)驱动的常闭型微阀.该微阀结构由弹性沟道层和形状记忆合金桥两部分组成,利用形状记忆合金微丝在相变过程中产生的拉力,打开微阀结构.通过对微阀的测试得出,其打开压力为4 000 Pa左右,开启时间和关...
关键词：微阀 形状记忆合金 微流体 常闭阀 
带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计被引量：3
《纳米技术与精密工程》2011年第1期21-25,共5页伍康 叶雄英 陈烽 刘力涛 周兆英 
国家自然科学基金资助项目(50730009)
设计了一种静电力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计,加速度计由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动电路和反馈控制电路组成.敏感芯片为玻璃-硅-玻璃3层结构,通过硅-玻璃键合体硅工艺制成.硅质量块由铝梁支撑,底部...
关键词：微加速度计 光栅 干涉 力反馈 三明治 
不同质量块布局双端固支梁的等效弹簧系数的热效应(英文)
《光学精密工程》2009年第6期1409-1414,共6页伍康 叶雄英 刘力涛 杜敏 周兆英 
Supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No .50730009)
通过理论研究和有限元仿真分析了热效应对两种不同质量块布局的双端固支梁的等效弹簧系数的影响,两种质量块分别布局为质量块与梁对称布置和质量块位于梁平面一侧布置。推导了双端固支梁等效弹簧系数随温度的变化公式,仿真分析了双端固...
关键词：热效应 等效弹簧系数 双端固支梁 质量块布置 
集成光栅干涉微位移测量方法被引量：6
《纳米技术与精密工程》2009年第1期56-59,共4页伍康 叶雄英 刘力涛 陈烽 周兆英 
国家自然科学重点基金资助项目(50730009)
介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、...
关键词：位移测量 干涉法 衍射光栅 微机电系统 
MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究被引量：1
《传感技术学报》2006年第05B期2340-2343,共4页郭琳瑞 陈烽 叶雄英 刘力涛 伍康 周兆英 
国家自然科学基金资助(50375083);高等学校博士学科点专项科研基金资助(20040003065)
利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜...
关键词：微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 碳纳米管 场发射 
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