徐鹏寿

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文主题：磁性离子束刻蚀全息光刻超薄膜CO更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《Chinese Journal of Chemical Physics》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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全息光刻-离子束刻蚀制作磁性亚微米结构被引量：1
《真空科学与技术学报》2008年第6期493-497,共5页张自军 徐向东 刘颖 邱克强 付绍军 洪义麟 郭玉献 徐鹏寿 蔡建旺 
国家自然科学基金(No.10435050)资助项目
激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中,基底材料具有高反射率,由于垂直驻波的影响,光刻胶浮雕图形侧壁产生"束腰",本文将O2反应离子刻蚀引入到制作工艺中,对光刻胶图形进行修正,获得了很好的效果,具有工艺简单、可控性好等特点。以50n...
关键词：光刻胶灰化 全息光刻 垂直驻波 磁性微结构 
氧与bcc相Co(100)表面相互作用的光电发射研究(英文)
《Chinese Journal of Chemical Physics》1999年第1期77-81,共5页张发培 徐鹏寿 徐法强 陆尔东 余小江 张新夷 
国家自然科学基金
通过在GaAs（100）表面生长具有弱有序的bcc相Co超薄膜，利用同步辐射光电发射和XPS，研究了室温下不同氧暴露量时Co膜的氧吸附行为。价带谱和Co3p发射谱结果表明，当暴露氧量低于4L时，氧解离吸附;更高的氧暴露量导致表面CoO相的成核...
关键词：氧 吸附 光电发射 XPS 钴膜 超薄膜 
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