王立秋

作品数：1被引量：0H指数：0
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供职机构：吉林大学物理学院更多>>
发文主题：薄膜生长化学气相沉积金刚石膜热灯丝顺磁共振更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
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氢气流量对金刚石膜生长的影响研究
《高等学校化学学报》2002年第9期1735-1737,共3页杨广亮 王立秋 吕宪义 金曾孙 
研究了电子辅助热灯丝法生长金刚石厚膜过程中氢气流量对沉积速度和膜品质的影响 .随氢气流量从 1 0 0增加到 75 0 cm3/min,金刚石膜的沉积速率单调上升 ,但金刚石膜品质不断下降 ,从 75 0到 1 0 0 0cm3/min,金刚石膜沉积速率下降 ,但...
关键词：氢气流量 金刚石膜 顺磁氮 顺磁共振 薄膜生长 电子辅助热灯丝法 化学气相沉积 
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