袁丛清

作品数：3被引量：14H指数：2
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供职机构：西安交通大学机械工程学院更多>>
发文主题：感应耦合等离子体干法刻蚀工艺参刻蚀速率数对更多>>
发文领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《西安交通大学学报》《应用力学学报》更多>>
所获基金：陕西省自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
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微柔顺装置及其力学分析被引量：2
《应用力学学报》2004年第4期122-124,共3页陈晓南 袁丛清 杨培林 庞宣明 
陕西省自然科学研究基金资助项目 (2 0 0 2E2 0 7)
根据微装配及柔性铰链的特点 ,提出了微柔顺装置 (MRCC ,MicroRemoteCenterCompliance)并对其进行了力学分析。由平衡方程和几何相容条件推导出了三个重要的设计参数———位移刚度Kx、角位移刚度K 和中心距L的表达式。讨论并示例了...
关键词：柔性铰链 柔顺装置 微柔顺装置 微装配 
等离子体刻蚀中工艺参数对刻蚀速率影响的研究被引量：12
《西安交通大学学报》2004年第5期546-547,共2页陈晓南 杨培林 庞宣明 袁丛清 
陕西省自然科学研究基金资助项目(2 0 0 2E2 0 7)
用实验方法研究了在感应耦合等离子体(ICP)的干法刻蚀过程中,工艺参数对刻蚀速率的影响.研究结果表明,刻蚀速率随SF6气体流量、自偏压以及射频功率的增大而增大,但当SF6气体流量、自偏压达到一定值后,刻蚀速率开始降低.实验中对工艺参...
关键词：感应耦合等离子体 干法刻蚀 硅 
并行环境下产品设计活动序列的研究
《西安交通大学学报》2002年第7期709-712,770,共5页杨培林 陈晓南 王陈春 袁丛清 
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室基金资助项目
结合电磁轴承 转子系统 ,研究了产品设计过程的建模方法 ,建立了产品设计活动序列的网络模型及其矩阵表达 .基于设计活动的序列网络模型 ,对设计过程中各设计活动序列出现的概率、关键路径及其延续时间作了分析研究 .结果表明 ,这种方...
关键词：产品设计 并行设计 设计活动序列 设计过程建模 序列网络模型 电磁轴承-转子系统 
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