赵崇凌

作品数：5被引量：5H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司更多>>
发文主题：PECVD氮化硅进气卸载装载更多>>
发文领域：理学一般工业技术经济管理电子电信更多>>
发文期刊：《功能材料》《物理学报》《电子工业专用设备》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金辽宁省博士科研启动基金国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-5
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
线性微波化学气相沉积制备AlO_x/SiN_x双层薄膜及钝化性能的研究
《真空》2016年第3期7-11,共5页张健 巴德纯 张振厚 赵崇凌 
教育部博士点基金(20120042110031)
通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlO_x/SiN_x双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高...
关键词：线性微波化学气相沉积 氧化铝薄膜 氮化硅薄膜 有效少子寿命 
工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响
《功能材料》2016年第5期227-230,共4页张健 巴德纯 赵崇凌 杜广煜 刘坤 
教育部博士点基金资助项目(20120042110031)
AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成...
关键词：线性微波源 氧化铝薄膜 工艺气体比例 折射率 沉积速度 
射频磁控溅射制备氮化钽薄膜及微结构和电性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2015年第8期975-978,共4页张健 巴德纯 赵崇凌 陆涛 
国家自然科学基金资助项目(50704012);辽宁省博士启动基金资助项目(20061017)
采用自主研发系统,应用反应射频磁控技术,在氧化铝陶瓷样片上制备了方阻稳定性好的Ta N薄膜,研究了氮分压(N2/(N2+Ar))、沉积温度、沉积时间对Ta N膜层结构和电性能的影响,通过X射线衍射、四探针方阻仪器测试了薄膜的微结构和方阻值。...
关键词：射频磁控 TaN薄膜 氮分压 沉积温度 沉积时间 
线性微波化学气相沉积制备SiN_x薄膜的微结构及光学性能研究被引量：1
《物理学报》2015年第6期362-367,共6页张健 巴德纯 赵崇凌 刘坤 杜广煜 
教育部博士点基金(批准号:20120042110031)资助的课题~~
利用自主研发的线性微波化学气相沉积系统在不同微波功率、微波占空比、基片温度、特气比例条件下制备了SiNx薄膜.通过扫描电子显微镜、椭圆偏振仪等表征测量技术,研究了不同工艺参数对SiNx薄膜表面形貌、元素配比、折射率、沉积速度的...
关键词：氮化硅薄膜 线性微波化学气相沉积 折射率 沉积速度 
光伏设备的国产化已成规模被引量：1
《电子工业专用设备》2010年第4期53-53,共1页赵崇凌 
光伏发电成本已从20世纪50年代的1785美元／W，降低到现在的1～2美元／W，光伏行业已经进入了快速发展期，2008年三四季度开始的全球范围的金融危机也没有完全阻档光伏产业的快速发展的势头，但电池片利润已经压缩的所剩无几，如何降低...
关键词：光伏产业 国产化 设备 发电成本 金融危机 全球范围 运行成本 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部