孙连婕

作品数：4被引量：2H指数：1
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供职机构：天津理工大学更多>>
发文主题：压电薄膜机电耦合系数声表面波器件原子力显微镜声速更多>>
发文领域：理学建筑科学电子电信更多>>
发文期刊：《天津理工大学学报》《光电子．激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
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六方氮化硼薄膜制备及其压电响应的研究
《光电子．激光》2012年第3期518-522,共5页孙连婕 陈希明 杨保和 郭燕 吴小国 
国家自然科学基金(50972105;60806030);天津自然科学基金(09JCZDJC16500;08JCYBJC14600)资助项目
采用射频(RF)磁控溅射的方法,通过改变工艺参数在n型Si(100)片上制备六方氮化硼(h-BN)薄膜。通过傅立叶红外(FTIR)光谱仪,X射线衍射(XRD)仪进行结构表征,原子力显微镜(AFM)进行表面形貌和压电性能表征。测试结果表明,在射频功率为300 W...
关键词：六方氮化硼(h-BN) 射频(RF)磁控溅射 傅立叶红外(FTIR)光谱仪 原子力显微镜(AFM) 压电薄膜 
Si/Al/BN多层膜的制备及研究
《天津理工大学学报》2012年第1期76-78,88,共4页曲长庆 孙连婕 陈希明 郭燕 吴小国 
国家自然科学基金(50972105;60806030);天津市自然科学基金(09JCZDJC16500;08JCYBJC14600)
本文采用磁控溅射系统制备了Si/Al/BN多层膜结构,并通过XRD,AFM,傅立叶红外光谱仪,纳米压痕仪等对Si/Al/BN多层膜结构进行了表征,表征结果表明本实验制备的Si/Al/BN多层膜基片符合高频声表面波器件基片的要求,为金刚石/IDT/BN多层膜超...
关键词：Si/Al/BN多层膜 高频声表面波 原子力显微镜 纳米压痕仪 
高声速(100)择优取向AlN薄膜的制备和性能研究被引量：2
《光电子．激光》2011年第12期1807-1809,共3页郭燕 陈希明 杨保和 孙连婕 吴晓国 
国家自然科学基金(50972105,60806030);天津自然科学基金(09JCZDJC16500,08JCYBJC14600)资助项目
采用射频磁控溅射法,通过改变工艺参数在n型(100)Si片上制备了表面粗糙度小、以(100)面择优取向的AlN薄膜。研究了高温退火、N2结尾等工艺对AlN薄膜择优取向的影响。结果表明,增大工作气压有利于薄膜(100)面择优取向,但是随着工作气压...
关键词：(100)面择优取向 ALN薄膜 退火 以N2结尾 
温度补偿对氮化铝(AlN)薄膜择优取向的影响
《天津理工大学学报》2011年第4期64-67,共4页宋振坤 陈希明 郭燕 孙连婕 
国家自然科学基金(50972105;60806030);天津自然科学基金(09JCZDJC16500;08JCYBJC14600)
氮化铝(AlN)薄膜不同的择优取向直接影响其压电性和声波传递速度.本文通过改变衬底补偿温度对AlN薄膜的择优取向进行了研究.在正常实验溅射完成后继续通入氮气对衬底进行温度补偿.应用XRD和AFM对氮化铝薄膜的取向性和表面形貌进行表征分...
关键词：氮化铝薄膜 择优取向 温度补偿 原子力显微镜 
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