杨旭

作品数：3被引量：6H指数：1
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：表面形貌磷化学气相沉积火焰切割机开放式数控系统更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《合肥工业大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
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面向运维服务的装备MRO知识管理系统研究被引量：5
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2014年第12期1505-1512,共8页任明仑 杨旭 付杰 
国家自然科学基金资助项目(71271073;70871032);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-11-0625)
为提高知识管理的效率,实现精益维修的目标,文章在分析装备MRO知识特点的基础上,围绕运维服务对MRO知识的需求,提出了装备MRO知识管理体系。针对不同MRO知识的特点,建立了基于装备结构层次的知识体系,分别围绕维修规程、维修资源、维修...
关键词：MRO知识 知识表示 知识组织 本体 知识管理系统 
硅基底的CVD扩磷工艺研究
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2014年第2期192-195,共4页杨旭 何晓雄 胡冰冰 马志敏 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63);安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091)
文章利用化学气相沉积(CVD)扩磷的方法,在单晶硅基底上进行扩磷工艺研究。采用X射线光电子能谱分析扩磷硅基底,通过原子力显微镜观察扩磷时间和温度对硅基底表面形貌的影响,并利用半导体特性测试仪研究扩磷时间和温度对硅基底I-V特性的...
关键词：硅基底 扩磷工艺 表面形貌 化学气相沉积 chemical VAPOUR depo-sition(CVD) 
LPCVD制备多晶Si薄膜的工艺和性能分析被引量：1
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2012年第11期1496-1499,1540,共5页胡佳宝 何晓雄 杨旭 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63);安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091)
文章利用低压化学气相沉积法(LPCVD),在单晶Si衬底上制备多晶Si薄膜。利用原子力显微镜观察薄膜厚度和镀膜温度对多晶Si薄膜表面形貌的影响,并利用XRD研究退火温度对多晶Si薄膜结晶性能的影响。结果表明:镀膜温度越高、薄膜越厚,薄膜的...
关键词：多晶硅薄膜 低压化学气相沉积 表面形貌 X射线衍射 
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