胡冰冰

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
发文主题：X射线衍射SIC薄膜硅基表面形貌EB-PVD更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《合肥工业大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
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硅基SiC薄膜的制备及性能研究被引量：1
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2015年第3期351-353,392,共4页胡冰冰 何晓雄 许世峰 孙飞翔 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63)
文章采用电子束物理气相沉积法在单晶Si(100)基片上制备了单层SiC薄膜和Al2O3/SiC双层膜,然后在不同温度下经氩气保护退火。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)对所制备的薄膜进行了结构和表面形貌分析。研究表明:退火后SiC薄膜...
关键词：SIC薄膜 电子束物理气相沉积 表面形貌 X射线衍射 
硅基底的CVD扩磷工艺研究
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2014年第2期192-195,共4页杨旭 何晓雄 胡冰冰 马志敏 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63);安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091)
文章利用化学气相沉积(CVD)扩磷的方法,在单晶硅基底上进行扩磷工艺研究。采用X射线光电子能谱分析扩磷硅基底,通过原子力显微镜观察扩磷时间和温度对硅基底表面形貌的影响,并利用半导体特性测试仪研究扩磷时间和温度对硅基底I-V特性的...
关键词：硅基底 扩磷工艺 表面形貌 化学气相沉积 CHEMICAL VAPOUR depo-sition(CVD) 
EB-PVD制备硅基SiC薄膜及其性能研究被引量：2
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2012年第12期1665-1668,共4页潘训刚 何晓雄 胡冰冰 马志敏 
安徽省自然科学基金资助项目(11040606M63);安徽省高校省级自然科学研究重点资助项目(KJ2009A091;KJ2012A228)
文章采用电子束蒸发物理气相沉积(EB-PVD)技术在单晶Si片上制备SiC薄膜,通过台阶仪(surfaceprofiler)、原子力显微镜(AFM)、半导体综合测试仪、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜表面形貌、电学性能及其结构进行分析。结果表明...
关键词：SIC薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 原子力显微镜 扫描电子显微镜 X射线衍射 
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