王铁坤

作品数：6被引量：16H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国电子科技集团第五十八研究所更多>>
发文主题：工艺用热阻纯水超纯水系统TOC更多>>
发文领域：电子电信动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《工程热物理学报》《电子与封装》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
螺纹管内污垢热阻的对比实验研究被引量：12
《工程热物理学报》2009年第9期1578-1580,共3页李蔚 张巍 李冠球 张政江 秦新安 王铁坤 徐志明 
国家重点基础研究发展规划基金项目(No.2007CB206904);国家高技术研究发展计划项目(No.2007AA05Z226)
本文对一冷却塔中的7根螺纹管进行了长时间污垢实验研究。螺纹管几何参数范围:螺纹数18～45,螺纹角25°～45°,螺纹高0.33～0.55mm。污垢是颗粒污垢和析晶污垢的混合物。本文基于普朗特类比,引入修正因子β(β=(A_w/A_(wp))/(A_c/A_(cp)...
关键词：污垢热阻 普朗特类比 强化传热 
洁净厂房正压控制问题讨论
《电子与封装》2007年第5期33-37,共5页蒋茂 潘国华 王铁坤 
文章重点探讨了洁净厂房的正压值的控制问题,讨论了正压值与洁净度以及温度湿度之间的关系。根据现有洁净厂房的生产条件,分析了正压值和洁净度以及温湿度不能达标的具体原因。探索了实际生产中正压值控制的方法,并验证了其可行性。
关键词：洁净厂房 洁净度 温湿度 正压 过滤器 
板式换热器的污堵与清洗及其对能耗的影响被引量：1
《电子与封装》2006年第9期41-44,共4页秦新安 王铁坤 
文中从实际应用角度,叙述了板式换热器的特点和基本工作原理,讨论了换热器工作过程中的热阻问题,分析了换热器污堵后对换热性能的影响因素,并探索了解决污堵问题的方法。最后以数据统计的形式,描述换热器污堵和清洗与能耗的关系。实践证...
关键词：板式换热器 污堵 清洗 热阻 能耗 
洁净厂房运行管理中的节能问题被引量：2
《电子与封装》2005年第10期35-39,13,共6页华卫群 王铁坤 蔡蕾 
本文根据运行管理的实践体会,讨论了空调净化厂房运行管理中节能的若干问题。通过空气状态参数分析及其与空调能耗相互关系的探讨,在洁净空调厂房运行中采取了适当的节能措施,以确保在满足工艺生产要求的前提下,将空调能耗水平降到最低...
关键词：洁净厂房 运行管理 节能 上限控制 中值控制 
IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究被引量：1
《微纳电子技术》2003年第3期33-38,共6页王铁坤 华卫群 
从运行管理角度,以实验方法考察了IC工艺用超纯水制造过程中TOC(总有机碳)的若干问题。通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的两套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响。
关键词：IC工艺 超纯水 TOC 一次纯水 二次纯水 膜脱气 总有机碳 
深亚微米工艺用二次纯水系统
《电子与封装》2002年第2期38-44,共7页王铁坤 华卫群 孙勇山 
本文介绍了深亚微米工艺用二次超纯水系统主要工艺流程及其各部分的作用。比较了一次纯水电阻率,二次纯水电阻率及二次纯水 TOC 含量的相互关系。讨论了半导体集成电路制造工艺对超纯水的水质要求以及水中杂质对半导体工艺的影响。
关键词：深亚微米 一次纯水 二次纯水 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部