付伟佳

作品数：6被引量：40H指数：4
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供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：ZNO薄膜表面形貌磁控溅射形貌分析光学性能更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《电子显微学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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离子注入Zn的Si(001)基片热氧化制备纳米ZnO团簇及其生长行为研究
《物理学报》2009年第8期5693-5699,共7页付伟佳 刘志文 刘明 牟宗信 张庆瑜 关庆丰 陈康敏 
国家自然科学基金(批准号:10605009;10774018);国家重点研究发展计划(批准号:2007CB616902)资助的课题~~
采用离子注入技术将Zn离子注入Si(001)基片,并在大气环境下加热氧化制备了ZnO纳米团簇.利用电子探针、薄膜X射线衍射仪、原子力显微镜和透射电子显微镜,对注入和热氧化后的薄膜成分、表面形貌和微观结构进行表征,探讨了热氧化温度以及...
关键词：ZnO纳米团簇 离子注入 微观结构 形貌分析 
偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响被引量：4
《无机材料学报》2009年第3期602-606,共5页付伟佳 刘志文 谷建峰 刘明 张庆瑜 
国家自然科学基金(10605009;10774018);国家重点研究发展计划(2007CB616902)
利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响.研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小...
关键词：ZNO薄膜 反应射频磁控溅射 偏压 形貌分析 
磁控溅射ZnO薄膜的退火热力学行为研究被引量：3
《电子显微学报》2007年第6期541-547,共7页刘志文 付伟佳 刘明 谷建峰 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金资助项目(No10605009)~~
本文利用原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射等分析手段研究了反应射频磁控溅射截然不同的阶段,其临界转变温度在790℃附近。进一步分析表明,决定低温退火的晶粒长大机制为Zn填隙原子扩散机制,而决定高温退火时的晶粒长大机制为O...
关键词：ZNO薄膜 退火行为 界面 扩散机制 
电化学沉积高c轴取向ZnO薄膜及其光学性能分析被引量：7
《物理学报》2007年第10期5979-5985,共7页谷建峰 付伟佳 刘明 刘志文 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:10605009)资助的课题~~
采用阴极还原方法,在透明导电玻璃(ITO)上制备了高c轴择优取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜等表征技术,研究了沉积电流对ZnO薄膜的结构、应力状态及表面形貌的影响;利用光致荧光光谱及透射光谱等分析方法,探讨了沉积电流变...
关键词：ZNO薄膜 电沉积 表面形貌 光学性能 
Si(001)基片上反应射频磁控溅射ZnO薄膜的两步生长方法被引量：4
《物理学报》2007年第4期2369-2376,共8页谷建峰 刘志文 刘明 付伟佳 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:10605009)资助的课题.~~
利用反应射频磁控溅射技术,采用两步生长方法制备了ZnO薄膜,探讨了基片刻蚀时间和低温过渡层沉积时间对ZnO薄膜生长行为的影响.研究结果表明,低温ZnO过渡层的沉积时间所导致的薄膜表面形貌的变化与过渡层在Si(001)表面的覆盖度有关.当...
关键词：ZNO薄膜 反应射频磁控溅射 两步生长 形貌分析 
工作气压对磁控溅射ZnO薄膜结晶特性及生长行为的影响被引量：22
《物理学报》2006年第10期5479-5486,共8页刘志文 谷建峰 付伟佳 孙成伟 李勇 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:50240420656)资助的课题.~~
采用射频反应磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、透射电子显微镜和透射光谱分析技术,对不同工作气压下合成的ZnO薄膜的表面形貌、微观结构和光学性能进行表征,研究了工作气压...
关键词：ZNO薄膜 磁控溅射 表面形貌 微观结构 光学性能 
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