谷建峰

作品数：10被引量：71H指数：4
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供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：ZNO薄膜磁控溅射表面形貌光学性能形貌分析更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《半导体光电》《电子显微学报》《无机材料学报》《发光学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响被引量：4
《无机材料学报》2009年第3期602-606,共5页付伟佳 刘志文 谷建峰 刘明 张庆瑜 
国家自然科学基金(10605009;10774018);国家重点研究发展计划(2007CB616902)
利用反应射频磁控溅射技术,通过对基体施加负偏压溅射ZnO薄膜,探讨了固定偏压下ZnO薄膜的表面形貌随沉积时间的演化以及不同偏压对ZnO薄膜表面形貌的影响.研究结果表明,在-100V的偏压下,随着沉积时间的增加,ZnO薄膜的表面岛尺寸不断减小...
关键词：ZNO薄膜 反应射频磁控溅射 偏压 形貌分析 
基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响
《半导体光电》2008年第6期884-887,892,共5页孙剑 白亦真 谷建峰 刘明 张庆瑜 
采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随温度的变化情况。利用X射线衍射(XRD)仪,光致发光(PL)谱,电子探针(EPMA)和霍尔测量系统对样品进行了检测。SEM结果表明,基片温度为600℃时...
关键词：声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 磁控溅射 
氧分压对磁控溅射ZnO薄膜生长行为和光学特性的影响被引量：3
《无机材料学报》2008年第6期1096-1100,共5页刘明 魏玮 曲盛薇 谷建峰 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金(10605009;10774018);国家重点基础研究发展计划(2007CB616902)
采用反应射频磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、透射光谱和室温光致荧光光谱等分析技术,研究了氧分压对薄膜的表面形貌和光学特性的影响.研究结果显示,0.04～0.23Pa的氧分...
关键词：ZNO薄膜 反应磁控溅射 形貌分析 光学特性 
自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性被引量：2
《发光学报》2008年第3期455-459,共5页孙剑 白亦真 谷建峰 刘明 张庆瑜 姜辛 
国家自然科学基金资助项目(60307002)
采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化。利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测。结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉...
关键词：声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 磁控溅射 
蓝宝石基片的处理方法对ZnO薄膜生长行为的影响被引量：6
《物理学报》2008年第2期1133-1140,共8页刘明 刘志文 谷建峰 秦福文 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:10605009)资助的课题.~~
采用反应射频磁控溅射方法,在经过不同方法处理的蓝宝石基片上,在同一条件下沉积了ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、反射式高能电子衍射等分析技术,对基片和薄膜的结构、表面形貌进行了系统表征.研究结果显示,不同退火条件下的蓝...
关键词：ZNO薄膜 反应磁控溅射 基片处理 形貌分析 
磁控溅射ZnO薄膜的退火热力学行为研究被引量：3
《电子显微学报》2007年第6期541-547,共7页刘志文 付伟佳 刘明 谷建峰 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金资助项目(No10605009)~~
本文利用原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射等分析手段研究了反应射频磁控溅射截然不同的阶段,其临界转变温度在790℃附近。进一步分析表明,决定低温退火的晶粒长大机制为Zn填隙原子扩散机制,而决定高温退火时的晶粒长大机制为O...
关键词：ZNO薄膜 退火行为 界面 扩散机制 
电化学沉积高c轴取向ZnO薄膜及其光学性能分析被引量：7
《物理学报》2007年第10期5979-5985,共7页谷建峰 付伟佳 刘明 刘志文 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:10605009)资助的课题~~
采用阴极还原方法,在透明导电玻璃(ITO)上制备了高c轴择优取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜等表征技术,研究了沉积电流对ZnO薄膜的结构、应力状态及表面形貌的影响;利用光致荧光光谱及透射光谱等分析方法,探讨了沉积电流变...
关键词：ZNO薄膜 电沉积 表面形貌 光学性能 
Si(001)基片上反应射频磁控溅射ZnO薄膜的两步生长方法被引量：4
《物理学报》2007年第4期2369-2376,共8页谷建峰 刘志文 刘明 付伟佳 马春雨 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:10605009)资助的课题.~~
利用反应射频磁控溅射技术,采用两步生长方法制备了ZnO薄膜,探讨了基片刻蚀时间和低温过渡层沉积时间对ZnO薄膜生长行为的影响.研究结果表明,低温ZnO过渡层的沉积时间所导致的薄膜表面形貌的变化与过渡层在Si(001)表面的覆盖度有关.当...
关键词：ZNO薄膜 反应射频磁控溅射 两步生长 形貌分析 
工作气压对磁控溅射ZnO薄膜结晶特性及生长行为的影响被引量：22
《物理学报》2006年第10期5479-5486,共8页刘志文 谷建峰 付伟佳 孙成伟 李勇 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:50240420656)资助的课题.~~
采用射频反应磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、透射电子显微镜和透射光谱分析技术,对不同工作气压下合成的ZnO薄膜的表面形貌、微观结构和光学性能进行表征,研究了工作气压...
关键词：ZNO薄膜 磁控溅射 表面形貌 微观结构 光学性能 
磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学研究被引量：21
《物理学报》2006年第4期1965-1973,共9页刘志文 谷建峰 孙成伟 张庆瑜 
国家自然科学基金(批准号:50240420656)资助的课题.
利用原子力显微镜分析了ZnO薄膜在具有本征氧化层的Si(100)和Si(111)基片上的表面形貌随沉积时间的演化.通过对薄膜生长形貌的动力学标度表征,研究了射频反应磁控溅射条件下,ZnO薄膜的成核过程及生长动力学行为.研究发现,ZnO在基片表面...
关键词：ZNO薄膜 磁控溅射 生长动力学 成核机制 
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