孙剑

作品数：5被引量：6H指数：2
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：ZNO薄膜金刚石声表面波滤波器磁控溅射ZNO更多>>
发文领域：理学一般工业技术化学工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《发光学报》《真空科学与技术学报》《半导体光电》《吉林大学学报（理学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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气压和偏流对高掺硼金刚石晶体性质的影响(英文)被引量：1
《新型炭材料》2010年第5期357-362,共6页贾福超 白亦真 屈芳 孙剑 赵纪军 姜辛 
supported by the 973 Program(Grant No.2008CB617614)~~
采用热丝化学气相沉积法,改变工作气压和偏流,在硅基片上沉积了高掺硼金刚石膜。利用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱和X射线衍射仪对沉积的金刚石膜表面形貌和结构进行表征。结果显示:当气体压强从3kPa降低到1.5kPa时,金刚石膜有较平的表面形...
关键词：高掺硼金刚石膜 气体压强 偏流 热灯丝化学气相沉积 扫描电镜 X射线衍射仪 拉曼光谱 
基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响
《半导体光电》2008年第6期884-887,892,共5页孙剑 白亦真 谷建峰 刘明 张庆瑜 
采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随温度的变化情况。利用X射线衍射(XRD)仪,光致发光(PL)谱,电子探针(EPMA)和霍尔测量系统对样品进行了检测。SEM结果表明,基片温度为600℃时...
关键词：声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 磁控溅射 
自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性被引量：2
《发光学报》2008年第3期455-459,共5页孙剑 白亦真 谷建峰 刘明 张庆瑜 姜辛 
国家自然科学基金资助项目(60307002)
采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化。利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测。结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉...
关键词：声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 磁控溅射 
自持金刚石厚膜上沉积N掺杂ZnO薄膜的生长及电学特性被引量：2
《吉林大学学报（理学版）》2007年第5期822-826,共5页孙剑 白亦真 杨天鹏 孙景昌 杜国同 
国家自然科学基金(批准号:60307002)
采用金属有机化合物气相沉积(MOCVD)两步生长法在自持化学气相沉积(CVD)金刚石厚膜的成核面上制备ZnO薄膜,并研究了薄膜的生长特性和电学特性.结果表明,在基片温度为600℃时沉积得到的ZnO薄膜表面均匀,取向较一致,为c轴取向生长.其载流...
关键词：声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 金属有机化合物气相沉积 
自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2006年第z1期140-142,共3页孙剑 杨天鹏 白亦真 徐艺滨 王新胜 杜国同 
ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了...
关键词：声表面波滤波器 金刚石 ZNO薄膜 金属有机化合物气相沉积 
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