何利文

作品数：3被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：放电器微放电微悬臂梁微等离子体硅更多>>
发文领域：电子电信机械工程生物学一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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硅应力非均匀氧化影响因素及其在纳米孔制作中的应用
《纳米技术与精密工程》2011年第4期316-321,共6页向伟玮 文莉 刘勇 张秋萍 何利文 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50605061);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
在微等离子体无掩模加工研究中,单晶硅在分布应力作用下的非均匀氧化现象决定了采用各向同性刻蚀得到氧化硅空心针尖纳米孔的可行性和可靠性.以V型槽为对象,研究了单晶硅在槽尖端的非均匀氧化现象.利用高温下氧化硅的黏弹性特性,建立了...
关键词：硅 应力 非均匀氧化 纳米孔 
用于微等离子体无掩膜刻蚀的微悬臂梁探针的设计和加工被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第3期275-278,共4页文莉 向伟玮 张秋萍 王海 何利文 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50605061);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
设计了一种用于微等离子体无掩膜刻蚀加工的微悬臂梁探针结构,即将微等离子体放电器集成在SiO2悬臂梁探针端部的空心针尖上,等离子体从针尖处的纳米孔导出,以实现高精度、高效率的无掩膜扫描刻蚀加工.设计了该悬臂梁探针的加工工艺流程...
关键词：微等离子体 微悬臂梁 空心针尖 无掩膜刻蚀 
用于微放电器的聚酰亚胺绝缘层的工艺和性能研究
《真空科学与技术学报》2011年第1期114-118,共5页张秋萍 文莉 向伟玮 曾洪江 何利文 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50605061);中央高校基本科研业务费专项资金资助
研究了一种应用于微放电器的聚酰亚胺绝缘材料的工艺及性能。分析了聚酰亚胺制备过程中亚胺化程度以及图形化过程中反应离子刻蚀功率、气体流量、气体成分、清洗等因素对于薄膜质量、刻蚀速率和残留物的影响,设计了用于测定聚酰亚胺介...
关键词：聚酰亚胺 微放电 亚胺化 刻蚀速率 介电性能 
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