张秋萍

作品数：6被引量：3H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：放电器等离子体刻蚀应力层次分析法发生器更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《哈尔滨工业大学学报》《微细加工技术》《真空科学与技术学报》《中国科学技术大学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金中国科学院知识创新工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
硅应力非均匀氧化影响因素及其在纳米孔制作中的应用
《纳米技术与精密工程》2011年第4期316-321,共6页向伟玮 文莉 刘勇 张秋萍 何利文 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50605061);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
在微等离子体无掩模加工研究中,单晶硅在分布应力作用下的非均匀氧化现象决定了采用各向同性刻蚀得到氧化硅空心针尖纳米孔的可行性和可靠性.以V型槽为对象,研究了单晶硅在槽尖端的非均匀氧化现象.利用高温下氧化硅的黏弹性特性,建立了...
关键词：硅 应力 非均匀氧化 纳米孔 
用于微等离子体无掩膜刻蚀的微悬臂梁探针的设计和加工被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第3期275-278,共4页文莉 向伟玮 张秋萍 王海 何利文 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50605061);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
设计了一种用于微等离子体无掩膜刻蚀加工的微悬臂梁探针结构,即将微等离子体放电器集成在SiO2悬臂梁探针端部的空心针尖上,等离子体从针尖处的纳米孔导出,以实现高精度、高效率的无掩膜扫描刻蚀加工.设计了该悬臂梁探针的加工工艺流程...
关键词：微等离子体 微悬臂梁 空心针尖 无掩膜刻蚀 
用于微放电器的聚酰亚胺绝缘层的工艺和性能研究
《真空科学与技术学报》2011年第1期114-118,共5页张秋萍 文莉 向伟玮 曾洪江 何利文 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50605061);中央高校基本科研业务费专项资金资助
研究了一种应用于微放电器的聚酰亚胺绝缘材料的工艺及性能。分析了聚酰亚胺制备过程中亚胺化程度以及图形化过程中反应离子刻蚀功率、气体流量、气体成分、清洗等因素对于薄膜质量、刻蚀速率和残留物的影响,设计了用于测定聚酰亚胺介...
关键词：聚酰亚胺 微放电 亚胺化 刻蚀速率 介电性能 
利用溅射反转剥离工艺实现微放电器Ni电极图形化
《中国科学技术大学学报》2010年第4期400-405,共6页张秋萍 文莉 向伟伟 王海 褚家如 
国家自然科学基金(50605061)资助
研究了实现微放电器Ni电极图形化的溅射反转剥离工艺,即采用磁控溅射沉积Ni薄膜,利用图像反转法实现金属剥离.以硅为基底分析了转型烘烤和显影等因素对AR-U4030光刻胶反转的作用,研究了Ni膜溅射功率、时间以及超声振洗等条件对剥离的影...
关键词：溅射 图像反转 剥离 微小等离子体反应器 
基于TFN-AHP综合评价模型的机器人设计选择被引量：1
《哈尔滨工业大学学报》2009年第9期128-131,共4页钟小强 董雨 滕伟冰 张秋萍 竺长安 
中国科学院创新基金资助项目(200417009)
针对机器人设计中的牵涉学科广,交叉范围大,待选方案多的特点,结合传统层次分析法(AHP)和模糊数学理论,提出一种机器人设计方案的选择和评价的新方法.该方法建立三角模糊数判断矩阵,利用AHP的模糊扩展模型计算评价因素的权重系数,并利...
关键词：机器人 层次分析法 三角模糊数 评价 
微小等离子体发生器刻蚀机理的研究被引量：1
《微细加工技术》2008年第5期50-52,55,共4页王海 文莉 向伟伟 张秋萍 褚家如 
国家自然科学基金资助项目(50605061);安徽工程科技学院青年基金资助项目(m01009);安徽工程科技学院科研启动基金资助项目(S01003)
采用二维流体模型对扫描刻蚀加工中的微小等离子体发生器的刻蚀机理进行了数值仿真研究。该微小等离子体发生器为微空心阴极放电器件,当工作气体为SF6,工作气压在5 kPa^9 kPa时,空心阴极处微孔半径为0.25μm时,空心阴极外部区域的F原子...
关键词：扫描等离子体刻蚀 等离子体模拟 微小等离子体 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部