李春华

作品数：17被引量：40H指数：4
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供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
发文主题：金属杂质电子级电感耦合等离子体质谱法标准物质标准加入法更多>>
发文领域：理学化学工程电子电信轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《化学世界》《化学试剂》《上海计量测试》《中国计量》更多>>
所获基金：国家质检总局科技计划项目上海市科学技术委员会科研基金上海市自然科学基金上海市技术性贸易措施应对专项更多>>
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高分辨电感耦合等离子体质谱仪测定电子级没食子酸中的金属杂质含量
《上海计量测试》2024年第6期8-11,共4页常燕 高一鸣 魏王慧 王勇 曹建雄 李春华 
国家市场监督管理总局科技计划(2022MK027、2023MK029)。
通过研究前处理方法和质谱干扰消除方案,建立了基于硝酸氧化消解—高分辨电感耦合等离子体质谱法(HR-ICP-MS)测定电子级没食子酸中多种痕量金属杂质(Na、Pb、Mg、Al、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn和K)的分析方法。利用标准加入法校正基...
关键词：电子级没食子酸 金属杂质 高分辨电感耦合等离子体质谱法 标准加入法 硝酸氧化消解 
三重四极杆电感耦合等离子体质谱法测定集成电路用N-甲基吡咯烷酮中14种金属杂质的含量
《理化检验（化学分册）》2023年第9期1073-1076,共4页李春华 高一鸣 郝萍 田玉平 曹建雄 李杰 
上海市2020年度“科技创新行动计划”技术标准项目(20DZ2203000);上海市市场监管局科研项目(2021-02)。
提出了有机加氧进样系统结合三重四极杆电感耦合等离子体质谱法测定集成电路用N-甲基吡咯烷酮(NMP)中Na、Cd、Pb、Mg、Al、Ca、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、K等14种金属杂质含量的方法。通过氧气在线燃烧的方式降低了碳沉积对锥口的影...
关键词：N-甲基吡咯烷酮(NMP) 三重四极杆电感耦合等离子体质谱法 金属杂质 先进制程 
四甲基氢氧化铵溶液中阴离子含量检测方法被引量：1
《上海计量测试》2022年第5期17-19,共3页高一鸣 郝萍 李春华 
提出了一种对低浓度四甲基氢氧化铵溶液中氟离子、氯离子、溴离子、亚硝酸根离子、硝酸根离子、硫酸根离子和磷酸根离子含量的检测方法。TMAH溶液稀释质量浓度为2.38%,经在线浓缩处理,离子色谱仪检测,该方法六种阴离子的检出限21~109 ng...
关键词：四甲基氢氧化铵 离子色谱 无机阴离子 
HR-ICP-MS测定电子级氨中的痕量杂质被引量：1
《化学工程师》2021年第8期17-21,共5页陈永康 徐建 郝萍 张笑旻 李春华 
上海市科学技术委员会科技项目(19142201800)。
电子级超纯氨是半导体产业上游关键配套原材料,其痕量杂质含量直接影响材料的光学及电学性能乃至器件的使用寿命,是半导体产业链发展中一个重要环节。本文采用高分辨电感耦合等离子质谱仪(HR-ICP-MS)标准加入法检测电子级氨水中痕量杂...
关键词：超纯氨 HR-ICP-MS 标准加入法 痕量杂质 
10 nm制程用电子级氢氟酸中痕量阴离子分析方法被引量：2
《上海计量测试》2021年第3期6-8,共3页高一鸣 郝萍 田玉平 曹建雄 陈鹰 李春华 
建立了一种在集成电路产业所需洁净环境下测试电子级氢氟酸中痕量阴离子的分析方法。对测试的环境、容器、耗材、试剂等加以要求,以此为基础进行电子级氢氟酸中痕量阴离子的分析。经考察,Cl^(-)、Br^(-)、NO_(3)^(-)、SO_(4)^(2-)、PO_(...
关键词：氢氟酸 离子色谱法 阴离子 
纯水中无机阴离子种类及检测方法
《上海计量测试》2021年第2期26-28,共3页沈新 高一鸣 李春华 王绪岩 
探索了纯水中无机阴离子的种类及其检测方法,采用离子色谱仪测定了不同种类纯水中F^(-)、Cl^(-)、Br^(-)、NO_(3)^(-)、SO_(4)^(2-)、PO_(4)^(3-)六种无机阴离子,精密度实验RSD<1.5%(n=5),标准曲线线性相关系数r>0.99。
关键词：纯水 无机阴离子 离子色谱 
HR-ICP-MS测定电子级N-甲基吡咯烷酮中痕量金属杂质被引量：5
《上海计量测试》2020年第2期2-5,共4页郝萍 李春华 
上海市科学技术委员会科研计划项目(18142203300)。
文章采用高分辨电感耦合等离子体质谱仪(HR-ICP-MS)检测电子级N-甲基吡咯烷酮(NMP)中金属杂质元素,采用标准加入法进行定量测试,回收率为92.40%~110.25%,重复性相对标准偏差为0.19%~3.78%,检测限满足电子级NMP中金属杂质含量在0.1~1μg...
关键词：电子级N-甲基吡咯烷酮 等离子体质谱仪 痕量金属杂质 标准加入法 
QuEChERS-SPE结合超高效液相色谱-四级杆飞行时间质谱法筛查牛奶样品中15类37种药物残留被引量：6
《化学试剂》2020年第4期406-410,共5页李永利 陈黎明 李杰 李春华 陈鹰 
上海市科学技术委员会科研计划项目(17142203200)。
采用QuEChERS-SPE结合超高效液相色谱-飞行时间质谱(UPLC-Q-TOF-MS)技术开发了快速测定牛奶中15类37种药物的方法。牛奶样品采用0.2%甲酸乙腈溶液和Na2EDTA-Mcllvaine缓冲溶液提取,有机相和水相分别经C18吸附剂和HLB固相萃取柱净化后合...
关键词：液相色谱-四级杆飞行时间质谱 QUECHERS 药物残留 筛查 牛奶 
高分辨等离子体质谱仪测定常用电子级有机试剂中29种金属杂质被引量：2
《化学世界》2020年第3期208-211,共4页李春华 田玉平 
国家质检总局科技计划(No.2017QK085);上海市技术性贸易应对专项(No.19TBT004)资助项目.
建立了常用电子级有机试剂中29种金属杂质同时测定的方法,样品经蒸发氮吹处理后,高分辨等离子体质谱仪(HR-ICP/MS)检测,29种金属杂质的检出限为0.1μg/kg,线性相关系数均≥0.999,加标回收率在98%~110%,相对标准偏差在0.39%~1.62%。该方...
关键词：电子级试剂 高分辨等离子体质谱仪 金属杂质 
高分辨电感耦合等离子体质谱法测定电子级氢氟酸中关键杂质元素砷、磷、硼和锌的含量被引量：14
《理化检验（化学分册）》2019年第9期1061-1065,共5页李春华 田玉平 陈鹰 
采用高分辨电感耦合等离子体质谱仪(HR-ICP-MS)测定了电子级氢氟酸中砷、磷、硼、锌等4种关键杂质元素。测定砷时,遇到了多原子分子38Ar37Cl和40Ar35Cl的质谱干扰,选择在质谱分辨率12 000的模式测定砷,使上述干扰得以解决。测定磷时,采...
关键词：高分辨电感耦合等离子体质谱法 方法学 杂质元素 电子级氢氟酸 
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