柳连俊

作品数：1被引量：1H指数：0
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用于制备SOI材料的RF-ZMR技术研究被引量：1
《Journal of Semiconductors》1991年第11期673-678,T001,共7页张鹏飞 钱佩信 林惠旺 柳连俊 
开发了一种新型的RF-ZMR技术,其主要特点是高频感应加热器的石墨板和双石墨条位于SOI 样品的同侧.这样可提高垂直于硅片表面方向的温度梯度,有利于防止背面熔化,并能采用较厚氧化隔离层.实验证明,采用热沉结构的样品经该系统再结晶处理...
关键词：SOI材料 硅单晶 薄膜 RF-ZMR技术 
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