闫小龙

作品数：3被引量：5H指数：1
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供职机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室更多>>
发文主题：氧化锌薄膜氧化锌MOCVD金属有机化学气相沉积ZNO更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《发光学报》更多>>
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低温缓冲层对氧化锌薄膜质量的影响被引量：4
《发光学报》2008年第1期124-128,共5页石增良 刘大力 闫小龙 高忠民 徐经纬 白石英 
国家“863”计划资助项目(2001AA311130)
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法,在Si衬底上外延生长ZnO薄膜。为了改善氧化锌薄膜的质量,首先在Si衬底上生长低温ZnO缓冲层,然后再生长高质量的ZnO薄膜。通过XRD、SEM、光致发光(PL)光谱的实验研究,发现低温ZnO缓冲层可有效降低ZnO...
关键词：氧化锌薄膜 MOCVD 低温缓冲层 XRD SEM 
表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响被引量：1
《发光学报》2005年第6期777-780,共4页闫小龙 刘大力 石增良 董鑫 高忠民 杜国同 
国家"863"计划资助项目(2001AA311130)
用MOCVD方法在c面蓝宝石衬底上生长ZnO薄膜。生长前衬底表面进行预处理,观察不同表面预处理对ZnO薄膜质量的影响。测量氧化锌的XRD谱,观察表面预处理后对氧化锌薄膜结晶质量的影响。室温下用325 nm的He-Cd激光器作为激发源测量ZnO薄膜...
关键词：ZNO薄膜 金属有机化学气相沉积 表面预处理 
退火对ZnO薄膜质量的影响
《发光学报》2005年第4期535-537,共3页董鑫 刘大力 闫小龙 张源涛 杜国同 高忠民 
国家"863"计划资助项目(2001AA311130)
用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在蓝宝石(0001)衬底上制备了c轴取向的高质量的ZnO薄膜,通过在生长温度下氧气和氮气中退火处理的比较,研究了退火对ZnO薄膜结构和发光特性的影响。通过X射线衍射测量得知,经过氮气和氧气退火都可以使其...
关键词：蓝宝石 氧化锌薄膜 金属有机化学气相沉积 X射线衍射 退火 
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