余雷

作品数：6被引量：15H指数：2
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供职机构：北京航空航天大学航空科学与工程学院更多>>
发文主题：热物性参数X射线光刻掩模微尺度传热掩模X射线光刻更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《真空科学与技术学报》《北京航空航天大学学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国航空科学基金更多>>
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X射线光刻掩模加工过程中的形变研究
《真空科学与技术学报》2005年第1期18-20,29,共4页王永坤 余建祖 余雷 
国家自然科学基金资助项目 (No 5 99760 0 4)
对以SiNx 为衬基的X射线光刻掩模在背面刻蚀过程中的形变进行数值仿真 ,研究了Si片和衬基的各种参数对掩模最大平面内形变和非平面形变的影响。结果表明 ,参数的变化明显影响最大非平面形变量。当Si片的厚度和直径增大 ,衬基的厚度和初...
关键词：掩模 X射线光刻 平面形 刻蚀 厚度 显影 形变量 加工过程 直径 
X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真被引量：1
《微细加工技术》2004年第3期19-23,28,共6页王永坤 余建祖 余雷 陈大鹏 
国家自然科学基金资助项目(59976004)
开发了理论模型以验证有限元方法用于X射线光刻掩模刻蚀过程数值仿真的正确性。利用相同的有限元技术,对X射线光刻掩模的背面开窗、Si片刻蚀过程进行数值仿真。结果表明,图形区域的最大平面内形变(IPD)出现在上、下边缘处,最大非平面形...
关键词：X射线掩模 掩模形变 背面刻蚀 有限元 平面内形变 非平面形变 
SiN_x薄膜热物性参数实验测量与分析研究被引量：3
《物理学报》2004年第2期401-405,共5页余雷 余建祖 王永坤 
国家自然科学基金 (批准号 :5 99760 0 4)资助的课题~~
采用一种新的实验测量方案 ,将金属加热单元与温度探测单元合二为一 ,间接获得了在半导体和微电子学MEMS领域内有重要用途的SiNx 薄膜的导热系数、发射率、比热容和热扩散系数 ,并对实验结果进行了不确定度分析 ,为微电子电路设计和掩...
关键词：薄膜物理 氮硅薄膜 微尺度传热 热物性参数 导热系数 发射率 比热容 热扩散系数 不确定度分析 光电子技术 
X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析被引量：2
《微细加工技术》2003年第2期34-39,共6页王永坤 余建祖 余雷 陈大鹏 
国家自然科学基金资助项目(59976004)
X射线光刻掩模是下一代光刻技术(NGL)中的X射线光刻技术的关键技术难点。在电子束直写后的掩模后烘过程中,掩模表面的温度场分布及温升的均匀性是影响掩模关键尺寸(CD)控制的重要因素,如果控制不当,会造成掩模表面的光刻胶烘烤不均匀,...
关键词：X射线光刻 掩模 后烘烤 有限元技术 瞬态温度场 
飞机设备吊舱环境控制系统的优化设计被引量：7
《北京航空航天大学学报》2002年第1期25-29,共5页余建祖 余雷 
航空科学基金资助项目 (97E5 10 45 )
介绍了国外机载设备吊舱环境控制系统技术发展的状况 ,提出了一种新的回冷逆升压式冲压空气循环制冷的吊舱环控系统方案 .建立了 4种典型吊舱环控系统优化设计的数学模型 ,并对其优化方法进行了探讨 .对系统优化结果的分析表明 ,优化设...
关键词：环境控制系统 优化设计 飞机设备吊舱 军用飞机 
一种用于电子薄膜导热系数和发射率测量的实验方案被引量：3
《航空学报》2001年第3期227-230,共4页余雷 余建祖 高泽溪 
国家自然科学基金资助项目! (5 9976 0 0 4)
薄膜传热性能对微电子设备的传热能力及其性能和可靠性有重大影响 ,测量薄膜的热物性参数并进一步研究其影响因素 ,可为微电子电路的设计和发展提供科学依据。评述了薄膜导热系数测量和研究的现状 ,在此基础上提出了一种新的能同时测量...
关键词：薄膜 热物性参数 导热系数 发射率 测量技术 集成电路 
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