薄膜物理

作品数：107被引量：291H指数：10
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基于产学研协同育人的薄膜物理与技术课程教学模式探索——以长春理工大学为例被引量：3
《高教学刊》2024年第7期102-105,共4页杨继凯 王连锴 王国政 王新 
吉林省教育科学“十四五”规划2021年度一般课题“理工院校产学研合作的协同育人模式探究——以长春理工大学电子科学与技术专业为例”(GH21069);教育部产学合作协同育人项目“《薄膜物理与技术》线上线下混合式一流课程建设途径探究”(202102095042);长春理工大学一流本科课程建设项目“《薄膜物理与技术》本科一流课程建设”(无编号)。
在产学研协同育人培养技能型和应用型全面人才的背景下,以长春理工大学薄膜物理与技术课程为例,通过课程内容优化、线上教学资源建设、课内实验及竞赛联合项目设置,教学设计改革、课程测试与评价建设及课程思政建设几方面对产学研协同...
关键词：产学研 协同育人 薄膜物理与技术 教学改革 教学实践 
Si基SiC薄膜物理制备工艺研究进展
《常州大学学报（自然科学版）》2024年第1期9-17,共9页苏江滨 朱秀梅 季雪梅 祁昊 潘鹏 何祖明 
江苏省自然科学基金资助项目(BK20191453);江苏省研究生科研创新计划资助项目(KYCX21_2819,KYCX21_2825)。
随着微纳电子器件集成化程度不断提高,用Si基SiC薄膜取代SiC体单晶引起了人们极大的兴趣,这种方法不仅有利于降低生产成本,还能与Si基大规模集成电路兼容。文章综述了磁控溅射、分子束外延、离子束溅射、离子注入4种物理制备Si基SiC薄...
关键词：SIC薄膜 磁控溅射 分子束外延 离子束溅射 离子注入 
薄膜物理中厚度测量的教学设计与探索
《物理通报》2024年第1期43-47,共5页金克新 陈云海 王海鹏 
陕西省研究生教育综合改革研究与实践项目;教育部高等学校教学研究项目,项目编号:DJZW202315xb;西北工业大学教育教学改革研究项目支持,项目编号:2022JGY25。
物体厚度是一个简单的物理量,然而对于薄膜体系,厚度则扮演着极其重要的角色,尤其是对薄膜的各种物理和化学性质影响很大.因此,在薄膜物理这门课程中,需要强化薄膜厚度的概念及其测量方法的教学内容.本文从薄膜厚度的基本概念出发,围绕...
关键词：教学设计 课程思政 问题导向 薄膜厚度 测量方法 
《薄膜物理与技术》课程思政教学探索
《中文科技期刊数据库（全文版）教育科学》2023年第11期104-107,共4页杨艳 吕国皎 林双全 罗乐 巫丛平 
四川省大学生创新创业训练项目“基于FPGA的软件无线电中加密模块研究”(S202311116071)。
介绍了中国高校在《高等学校课程思政建设指导纲要》下,如何通过思政教育改进《薄膜物理与技术》课程,提高教学质量。强调在课程中融入思政元素,引导他们思考伦理、社会和政治问题。通过案例分析、伦理道德讨论、爱国主义教育等方式设...
关键词：课程思政 薄膜物理与技术 爱国主义 教学探索 
超快光场驱动的二氧化钒薄膜相变研究进展
《量子电子学报》2023年第2期238-257,共20页王康 刘一 宋立伟 
中国科学院高层次人才引进计划,中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200031);上海市自然科学基金重点项目(20JC1416000)。
二氧化钒(VO2)是一种典型的强关联电子材料,当达到相变阈值时,会可逆地从绝缘单斜相转变到金属金红石相,这种相变主要通过温度、光照、电场、磁场、应力等激励条件激发。相突变可在亚皮秒时间尺度内发生,并会伴随着光学透过率、折射率...
关键词：薄膜物理学 二氧化钒薄膜 绝缘-金属相变 太赫兹时域光谱 太赫兹功能器件 
课程思政与新工科双背景下工科课程的教学方法——以《薄膜物理与技术》课程为例
《中文科技期刊数据库（全文版）教育科学》2023年第3期152-155,共4页罗艳 张立峰 李亚琼 任英 杨文 
基于课程思政与新工科的双重背景,当前工科课程教学方法依然存在一定难度。教师需要在新工科教学过程中不断结合课程思政教育概念积累新的教学方法和策略。依据新工科的教学目标和思政教育在工科课程中的占比要求,提出了工科课程中思政...
关键词：课程思政 新工科 教学方法 
双功能钨源制备硫化钨单层膜的生长机理
《中国科技论文》2022年第4期379-383,共5页朱金童 曹阳 涂进春 张垠 王洁琼 
国家自然科学基金资助项目(51901059)。
为了实现大面积、高质量二硫化钨(WS_(2))单层膜的可控制备,对双功能钨源制备硫化钨单层膜的机理进行了研究。通过两步化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法,以具有双功能的钠盐钨酸钠二水合物(Na_(2)WO_(4)·2H_(2)O)为钨源...
关键词：薄膜物理学 化学气相沉积 二硫化钨 单层膜 生长机理 
《薄膜物理与制备技术》课程教学模式改革与实践被引量：1
《教师》2021年第34期107-108,共2页马垒 何木芬 
桂林电子科技大学研究生课程建设项目“薄膜物理与制备技术”(YKC201911)。
薄膜材料与制备技术已是当今高科技发展必不可少的研究领域,文章主要论述了《薄膜物理与制备技术》课程教学中存在的问题以及如何进行教学改革创新,以期通过新的教学方法和手段,将科学实验融入理论教学过程中,辅以双语教学和工程案例分...
关键词：《薄膜物理与制备技术》 双语教学 案例分析 创新意识 
《真空科学与技术学报》征稿说明
《真空科学与技术学报》2021年第11期I0005-I0005,共1页
《真空科学与技术学报》由中国真空学会主办,是中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物、月刊,国内外公开发行。本刊论文被CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科:真...
关键词：真空技术 中国真空学会 自然科学技术 物理电子学 纳米科学与技术 真空冶金 INSPEC 薄膜物理 
《真空科学与技术学报》征稿说明
《真空科学与技术学报》2021年第8期I0005-I0005,共1页
《真空科学与技术学报》由中国真空学会主办,是中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物,月刊,国内外公开发行本刊论文被CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科:真空技...
关键词：真空技术 中国真空学会 自然科学技术 物理电子学 纳米科学与技术 真空冶金 INSPEC 薄膜物理 
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