吕春华

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：浙江大学理学院微分析系统研究所更多>>
发文主题：简易加工技术SU-8高深宽比微结构镍更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《分析化学》《浙江大学学报（工学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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高聚物微流控芯片镍阳模的简易加工技术被引量：1
《分析化学》2007年第5期767-771,共5页吕春华 殷学锋 陆平 
国家自然科学基金资助项目(No.20475049)
提出了一种简便快速制作高聚物微流控芯片镍阳模的新方法。采用抛光镍片作为电铸基底,涂覆SU-8光胶层后,光刻得到SU-8微结构。以镍基片作为阳极,用16～30A/dm2的电流密度电解刻蚀5min,清除SU-8微结构间隙底部镍片表面的氧化物,并刻蚀得...
关键词：微流控芯片 电铸 镍阳模 SU-8光刻胶 
高深宽比SU-8微结构的简易加工技术被引量：2
《浙江大学学报（工学版）》2006年第8期1289-1292,共4页吕春华 殷学锋 刘东元 方肇伦 
国家自然科学基金资助项目(20299030);国家'863'高技术研究发展计划资助项目(2002AA421150)
为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光胶,用常规的接触式曝光法,将光刻掩模上的二维图形转移到AZ-4620光胶层上,显影后利用ITO玻璃的导电性,...
关键词：微制备 SU-8 高深宽比 微结构 
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