鄢定尧

作品数：11被引量：40H指数：4
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供职机构：成都精密光学工程研究中心更多>>
发文主题：抛光光学元件面形抛光工艺大口径更多>>
发文领域：金属学及工艺电子电信机械工程理学更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《激光与光电子学进展》《强激光与粒子束》《光学技术》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
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平面摇摆式抛光去除模型研究被引量：2
《强激光与粒子束》2014年第3期139-142,共4页赵恒 鄢定尧 蔡红梅 鲍振军 
国家高技术发展计划项目
为了完善平面摇摆式抛光的理论并指导加工,基于Preston方程建立了平面摇摆式加工的去除模型,并使用该模型在Matlab中仿真计算元件上各点在不同加工参数情况下的去除量,最终得到不同加工参数情况下所产生的不同去除形貌。通过控制不同参...
关键词：摇摆式抛光 加工参数 轨迹长度 去除模型 
环形抛光中频误差的计算模拟
《强激光与粒子束》2013年第12期3307-3310,共4页谢磊 张云帆 游云峰 马平 刘义彬 鄢定尧 
国家高技术发展计划项目
通过建立环形抛光的去除模型,从理论上分析了转速比、槽形、元件摆动对于抛光结果的影响,并分析了中频误差产生的原因。模拟结果表明:转速比的差异会产生较大的低频误差,而中频误差会随着低频误差的降低而降低;槽形是中频误差的主要来源...
关键词：环形抛光 中频误差 模拟 转速比 槽形 
大口径碳化硅反射镜数控抛光工艺被引量：3
《强激光与粒子束》2013年第12期3311-3314,共4页朱衡 刘夏来 黄金勇 鄢定尧 马平 
研究了针对600mm口径方形轻质碳化硅元件的数控抛光工艺过程,采用国产OP1000数控研磨抛光机床对一块600mm×480mm的方形碳化硅元件进行数控抛光加工。在经过两周的加工时间,碳化硅光学元件的通光口径均方根(RMS)值收敛到了35nm(大约为λ...
关键词：大口径光学元件 碳化硅 表面质量 快速收敛 参数优化 抛光 
3mm厚大口径超薄元件双面抛光工艺被引量：5
《强激光与粒子束》2013年第12期3315-3317,共3页何曼泽 王琳 周佩璠 马平 鄢定尧 
国家高技术发展计划项目
基于环摆双面抛光技术,研究了3mm厚大口径超薄元件的双面抛光加工工艺。通过对双面抛光原理的分析,对转速比、抛光垫面形、抛光液等工艺参数上作了优化,并通过加工模拟进行验证。通过工件环分离器减薄技术解决了3mm厚超薄元件的装夹问...
关键词：双面抛光 大口径超薄元件 工艺优化 转速比 加工模拟 
光学元件超声清洗工艺研究被引量：9
《强激光与粒子束》2012年第7期1761-1764,共4页王刚 马平 邱服民 胡江川 鄢定尧 
国家高技术发展计划项目
系统开展了光学元件超声清洗工艺的实验研究。通过研究超声清洗剂、清洗温度等工艺参数的优化,找到了能够有效祛除元件表面无机污染物和有机污染物的较佳超声清洗工艺,且超声清洗没有对光学元件表面产生损伤,清洗后的光学元件接触角小于...
关键词：超声清洗 接触角 粗糙度 原子力显微镜形貌 表面微观状况 
大口径反射元件环形抛光工艺被引量：6
《强激光与粒子束》2012年第7期1687-1690,共4页谢磊 马平 刘义彬 游云峰 鄢定尧 
国家高技术发展计划项目
根据环形抛光的加工特点,研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺。在4m环抛机上进行了610mm×440mm×85mm的大口径反射元件加工工艺实验,研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形...
关键词：环形抛光 大口径反射元件 工艺优化 转速 槽形 
利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面被引量：2
《红外与激光工程》2011年第7期1310-1313,共4页叶海仙 鄢定尧 张宁 杨李茗 
国家科技重大专项
检测标定了一块放置多年的Φ530 mm离轴非球面。根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型。利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察...
关键词：大口径离轴非球面 Zemax辅助标定 离轴量 4D干涉仪 
光学元件镀膜前高洁净度清洗工艺研究被引量：4
《激光与光电子学进展》2010年第3期114-119,共6页胡江川 刘夏来 邱服民 郭波 鄢定尧 杨李茗 
研究了光学元件镀膜前超高洁净度要求的超声清洗工艺,在超声波清洗机的频率和功率一定的情况下,通过研究超声清洗剂、清洗温度、清洗时间等对光学元件超声清洗效果的影响,研制出有效清洗光学元件的清洗工艺,并保障超声清洗工艺对光学元...
关键词：光学元件 超声清洗 清洗效果 放置时间 
大口径方形离轴非球面的非球面度计算与应用研究被引量：5
《光学技术》2007年第4期595-598,共4页鄢定尧 刘民才 刘义彬 刘夏来 李瑞洁 杨李茗 
采用不同的数值计算方法求解了大口径(340mm×340mm)方形离轴非球面的最接近球面曲率半径和非球面度,得出了各种不同的磨削量及其对应的分布结构。对不同的最接近球面及非球面度所适用的加工工艺和检测方法进行了分析和评价。这对离轴...
关键词：离轴非球面 非球面度 加工 检测 
非球面聚焦透镜数控加工技术研究被引量：4
《强激光与粒子束》2003年第10期951-954,共4页王健 鄢定尧 李洁 许乔 
国家863计划项目资助课题
　国内现有的高功率固体激光装置所使用的非球面聚焦透镜都是用传统方式手工加工而成的,由于手工加工方式的加工精度和进度对人的依赖性很大,势必影响大批量制造时的工程进度。而采用新兴的小磨头数控加工技术则可以避免这些缺点。介绍...
关键词：小磨头数控抛光 非球面 透镜 
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