陈李

作品数:6被引量:12H指数:2
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供职机构:中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题:陀螺微机械陀螺振动电磁式同频干扰更多>>
发文领域:自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程交通运输工程更多>>
发文期刊:《传感技术学报》《光学精密工程》《微纳电子技术》《测控技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
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高性能电磁式微机械振动环陀螺被引量:5
《光学精密工程》2009年第8期1915-1921,共7页陈李 陈德勇 王军波 毋正伟 张明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA04Z318);国家自然科学基金资助项目(No.60674112;60772018)
为改进振动环陀螺的模态匹配并提高其品质因数,设计了一种采用全对称结构实现模态匹配的电磁式微机械振动环陀螺。通过理论推导,建立了陀螺灵敏度和机械噪声的数学模型,分析了陀螺参数对灵敏度及分辨力的影响。采用(100)晶向的单晶硅及...
关键词:电磁式陀螺 微机械陀螺 振动环 
一种电磁式微机械振动环陀螺的建模与优化被引量:7
《纳米技术与精密工程》2009年第3期233-238,共6页陈李 陈德勇 王军波 毋正伟 张明 
国家高技术研究发展计划(863)项目(2007AA04Z318);国家自然科学基金资助项目(6067411260772018)
提出了一种新型的电磁式微机械振动环陀螺结构.为优化陀螺的设计和提高陀螺的性能,在推导微机械陀螺集总参数模型的基础上,建立了电磁式微机械振动环陀螺的数学模型,得到了影响陀螺灵敏度的因素,据此对陀螺参数进行优化设计.采用有限元...
关键词:电磁式微机械陀螺 振动环 数学建模 优化设计 
微机械振动环陀螺(英文)
《光学精密工程》2009年第6期1344-1349,共6页陈李 陈德勇 王军波 
Supported by the National Natural Science Foundation of China( Grant No .60772018 and No .60674112);the National Hi-Tech Research and development Program of China(863 Program)(Grant No .2007AA4Z318)
为了减小振动环驱动模态和检测模态的频率差从而提高陀螺性能,提出了一种采用电磁驱动、电磁检测的全对称振动环陀螺结构。采用MEMS体硅工艺完成该微机械振动环陀螺的加工,其结构在保持镜像对称的同时,还保持了中心对称,因此整个结构高...
关键词:微机械陀螺 振动环陀螺 闭环控制 
降低振动环式微机械陀螺同频干扰的方法研究被引量:1
《测控技术》2008年第7期4-5,22,共3页韩磊 李守荣 王军波 陈李 陈德勇 
国家自然科学基金项目(60772018);863计划项目(2007AA04Z318);中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(CXQN-9235)
受MEMS加工工艺等因素影响,振动环式微机械陀螺存在一定的不对称,引起检测端的同频干扰,导致检测信号的信噪比降低。通过对振动环式陀螺进行激励模态和检测模态的动力学分析,研究激励信号、干扰信号和Coriolis力之间相位关系,提出降低...
关键词:振动环式陀螺 同频干扰 解决方法 
一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析
《微纳电子技术》2007年第7期282-284,共3页陈德勇 陈健 毋正伟 王军波 陈李 
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工...
关键词:谐振加速度计 微杠杠结构 差分输出 
微谐振梁的激振与拾振研究(英文)
《传感技术学报》2006年第6期2432-2436,共5页陈健 陈德勇 王军波 杨苗苗 毋正伟 陈李 
主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰.
关键词:微机械电子系统 微谐振梁 模态提取 同频干扰 
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