陈辉

作品数:3被引量:1H指数:1
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发文主题:锂硫电池层次型丙烯基高能量密度高硫更多>>
发文领域:电气工程经济管理电子电信轻工技术与工程更多>>
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小间距下光刻孔孔径对铟凸点阵列制备的影响
《光电子技术》2024年第3期190-194,共5页陈辉 杨天溪 蒋冰鑫 张文靖 兰金华 黄忠航 孙捷 严群 
国家重点研发计划(2023YFB3608700、2023YFB3608703);闽都创新实验室项目(2021ZZ122、2020ZZ110);福建省科技厅项目(2021HZ0114、2021J01583)。
小间距下制备铟凸点阵列时,常出现铟凸点高度较低、均匀性较差的情况。文中研究了小间距条件下热蒸镀过程中光刻工艺所形成的光刻胶孔径对于铟凸点沉积质量所带来的影响,并选取了合适的光刻和蒸镀参数,在8μm间距的Micro-LED芯片上成功...
关键词:小间距 铟凸点 孔径 微缩矩阵化发光二极管 
基于不完全匹配的掩膜版进行芯片套刻的校准方案
《光电子技术》2024年第2期116-120,共5页张文靖 张恺馨 杨天溪 孙捷 严群 林畅 蒋冰鑫 李洋 兰金华 陈辉 
国家重点研发计划(2021YFB3600104);福建省科技厅项目(2021HZ0114,2021J01583);中国福建光电信息科学与技术创新实验室项目(2021ZZ122)。
提出一种校准方案,在套刻曝光一般步骤的基础上进行适当调整,用不完全匹配的掩膜版同样能够实现准确的套刻曝光。研究为提高芯片制备效率、保证对准精度提供了新思路。
关键词:光刻工艺 套刻曝光 校准 集成电路 
酸奶流变特性研究与进展被引量:1
《食品与机械》1996年第1期13-14,共2页陈淑梅 陈辉 
食品流变学是研究在力的作用下物质变形的科学。通过对食品物质流变特性的测定,可以控制产品的质量,鉴别成品的优劣,并且可以为工艺及设备的设计提供有关数据。可以认为食品流变特性的检测是目前生产过程中必不可少的检测手段之一。本...
关键词:酸奶 流变特性 工艺 影响 乳制品 
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