周明飞

作品数：6被引量：40H指数：4
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供职机构：安徽大学物理与材料科学学院更多>>
发文主题：TIO2薄膜金红石锐钛矿射频磁控溅射TIO_2薄膜更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《真空科学与技术学报》《功能材料》《硅酸盐学报》更多>>
所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金安徽省人才开发基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
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TiO2薄膜原子力显微镜图像多重分形谱的二次函数拟合被引量：4
《功能材料》2008年第8期1352-1354,共3页吕建国 孟凡明 周明飞 宋学萍 孙兆奇 
国家自然科学基金(50642038);教育部博士点专项基金(20060357003);安徽省人才专项基金(2004Z029);安徽科技厅重点资助项目(05021028，07020203009);安徽省高等学校省级自然科学研究资助项目(KJ2007B135);安徽省高等学校青年教师科研资助计划项目(2006jql192)
用原子力显微镜观察经不同退火温度处理TiO_2薄膜的表面形貌,观察结果表明,随着退火温度的升高,颗粒不断长大,数目逐渐减少,表面粗糙度RMS从4.1nm增大到18.4nm。用最小二乘法对原子力显微镜图像多重分形谱进行二次函数拟合,结果显示,随...
关键词：TIO2薄膜 原子力显微镜 多重分形谱 二次函数拟合 
TiO2薄膜的相变与光学性能被引量：3
《硅酸盐学报》2008年第2期198-205,共8页孟凡明 周明飞 宋学萍 
国家自然科学基金(50642038);教育部博士点专项基金(20060357003);安徽省高等学校省级自然科学研究基金(KJ2007B132);三束材料改性国家重点实验室(大连理工大学)开放基金(mmlab0702)资助项目。
采用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英玻璃片上沉积TiO_2薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜、X射线光电子能谱、紫外可见光谱和荧光发射光谱对薄膜的结构、相组成和表面形貌进行了表征。研究了退火温度对薄膜相结构、表面化学组成、形...
关键词：二氧化钛薄膜 射频磁控溅射 退火 锐钛矿 金红石 
退火温度对TiO_2薄膜结构、组分和光学性能的影响被引量：8
《人工晶体学报》2008年第2期411-416,共6页周明飞 孟凡明 孙兆奇 宋学萍 
国家自然科学基金(No.50642038);高等学校博士学科点专项基金(No.20060357003);安徽省高等学校省级自然科研基金资助项目(No.KJ2007B132);安徽大学研究生创新项目(No.20073038)
利用射频磁控溅射,在硅和石英基底上制备了厚度为150 nm的TiO2薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、紫外可见分光光度计(UV-vis)和光致发光谱(PL)等多种测试分析技术,研究退火温度对TiO2薄膜结构、组分及光学性能的影...
关键词：射频磁控溅射 TIO2薄膜 退火 光学性能 
纳米TiO2薄膜的制备与表面形貌研究被引量：19
《真空科学与技术学报》2008年第1期72-77,共6页孟凡明 周明飞 蔡琪 孙兆奇 
国家自然科学基金资助项目(No.50642038);高等学校博士学科点专项基金资助项目(No.20060357003);安徽省高等学校自然科研基金资助项目(No.KJ2007B132)
研究退火温度对薄膜相结构、表面化学组成及形貌的影响。采用射频磁控溅射法在单晶硅片上淀积TiO2薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X光电子能谱(XPS)对其进行表征。结果表明,室温制备400℃以下退火的TiO2薄膜为无定形结构,...
关键词：TIO2薄膜 磁控溅射 退火 锐钛矿 金红石 
退火温度对TiO_2薄膜结构与光学性能的影响被引量：3
《功能材料》2007年第11期1773-1776,共4页孟凡明 周明飞 宋学萍 孙兆奇 
国家自然科学基金资助项目(50642038);高等学校博士学科点专项基金资助项目(20060357003);安徽省高等学校省级自然科研基金资助项目(KJ2007B132)
研究退火温度对薄膜相结构、表面化学组成、形貌及光学性能的影响。采用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英玻璃片上负载TiO2薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、X光电子能谱(XPS)和紫外可见光谱(UV-vis)对其进行表征。结果表明...
关键词：TIO2薄膜 射频磁控溅射 退火 锐钛矿 金红石 
基底温度对磁控溅射制备ZnO薄膜性能的影响被引量：5
《材料科学与工程学报》2007年第4期598-601,共4页周明飞 宋学萍 孙兆奇 
国家自然科学基金资助项目(59972001);教育部博士点专项基金资助项目(20060357003);安徽省人才专项基金资助项目(2004Z029);安徽省教育厅科研基金资助项目(2004kj030);安徽省信息材料与器件重点实验室资助项目;安徽大学人才队伍建设基金资助项目
利用射频磁控溅射,在Si基底上制备了ZnO薄膜.采用电子薄膜应力分布测试仪、X射线衍射和傅立叶变换红外光谱仪等检测手段研究了基底温度对其应力、微结构及光学性能的影响.ZnO薄膜在(002)晶面具有良好的c轴取向.在基底温度为200～300 ℃...
关键词：ZNO薄膜 基底温度 微结构 应力 红外光谱 
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