王宇

作品数：11被引量：32H指数：4
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：波导激光器极紫外光子芯片准分子激光器更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《光学学报》《红外与激光工程》《中国激光》《腐蚀与防护》更多>>
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激光光束整形技术研究进展被引量：1
《激光与光电子学进展》2024年第5期47-58,共12页亓岩 朱英杰 张晶 王延伟 周密 孙晨曦 颜博霞 韩巍 王宇 
国家自然科学基金(12074405)。
激光器谐振腔输出的光束呈高斯分布,需要通过光束整形来提高均匀性,以满足应用的需求。从光学系统的特性出发,总结归纳了当前主要的三种激光光束整形技术,包括光阑法、场映射器法和多孔径光束聚焦法,分别介绍了三种激光光束整形技术的...
关键词：光束整形 光阑 场映射器 多孔径光束聚焦 
F-P腔翠绿宝石激光器中的热效应及输出功率凹陷被引量：1
《中国激光》2023年第19期38-45,共8页彭锦 范元媛 林政吉 亓岩 颜博霞 周密 韩哲 王倩 王宇 
国家自然科学基金(12074405);中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20210031);中国科学院青年创新促进会(2020121);中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室开放课题。
翠绿宝石晶体的热透镜效应会严重影响激光器的输出性能。首先通过建立晶体的热传导模型,合理设定边界条件并求解相应的热传导方程,对造成热效应的三个因素进行分析,计算了相应因素下热焦距的理论值。然后,利用谐振腔的临界稳定条件,对...
关键词：激光器 翠绿宝石晶体 热透镜效应 F-P腔 热焦距 
脉冲激光多回波峰值检测电路设计被引量：3
《红外与激光工程》2023年第5期215-222,共8页蒋衍 朱精果 刘汝卿 李锋 姜成昊 孟柘 王宇 
在脉冲激光探测中,常采用峰值检测电路获取强度信息。当激光通过部分反射或部分遮挡的空间多层物体时,会产生多个回波。传统峰值检测电路无法准确探测多回波峰值。因此,基于脉冲多回波峰值检测原理,设计了一种具有高集成度的新型脉冲多...
关键词：激光探测 峰值保持电路 多回波 峰值检测 
相位光栅非对称性对位置测量精度的影响被引量：5
《光学学报》2021年第19期52-63,共12页杨光华 王宇 李璟 丁敏侠 卢增雄 
在相位光栅位置测量系统中,加工、后处理等工艺会导致光栅结构发生非对称性变形,增加了位置测量误差。因此,建立了非对称性光栅的衍射场理论模型,分析了光栅非对称性对位置测量精度的影响,并根据不同衍射级次对非对称性敏感度的差异提...
关键词：光栅 非对称性 测量精度 位置测量系统 
增强型相位光栅衍射效率研究被引量：8
《光学学报》2021年第12期31-42,共12页杨光华 王宇 李璟 齐月静 丁敏侠 
为了提高相位光栅位置测量系统的测量精度,需要降低零级和偶衍射级次信号的衍射效率,同时提高高奇衍射级次信号的衍射效率。目前,已知的增强型相位光栅衍射效率模型限制了结构参数取值范围,在设计时以某一高奇衍射级次信号作为优化目标...
关键词：衍射 相位光栅 衍射效率 位置测量系统 
准分子激光器中放电冲击波的仿真研究被引量：2
《中国激光》2020年第9期16-25,共10页刘斌 丁金滨 周翊 江锐 王宇 
国家科技重大专项(2013ZX02202002)。
分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300μs内横向冲击波和纵向冲击波的演化过程,获得了此过程中气体速度、密度、压力和温度等关键参数的变化规律。对...
关键词：激光器 准分子激光器 放电冲击波 数值仿真 放电腔设计 
低压环境中材料的氢损伤测试技术被引量：2
《腐蚀与防护》2020年第9期66-71,共6页罗艳 吴晓斌 王宇 王魁波 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)。
为了评估极紫外光刻(EUVL)机结构材料的氢损伤行为,提出首先采用低压气相充氢的方法获得不同充氢时间下材料内的氢含量及其变化趋势,同时采用电解充氢恒载荷拉伸试验获得不同氢含量材料的门槛应力值、氢脆指数及变化趋势;然后将两者结...
关键词：极紫外光刻 材料 氢致开裂 氢脆敏感性 测试技术 
不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响
《激光与光电子学进展》2020年第17期295-300,共6页谢婉露 吴晓斌 王魁波 罗艳 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)。
仿真分析了不同基底材料对极紫外辐照损伤研究系统中收集镜聚焦性能的影响,包括熔融石英、SiC和AlSi。与熔融石英、SiC等陶瓷材料基底相比,AlSi基底收集镜的导热性能较高,但在极紫外辐照损伤研究系统中,对于300 mm直径的收集镜,当加载1...
关键词：X射线光学 极紫外 极紫外收集镜 基底材料 热变形 聚焦性能 
极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响被引量：5
《中国激光》2020年第6期48-53,共6页谢婉露 吴晓斌 王魁波 罗艳 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)。
实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,...
关键词：激光光学 极紫外 极紫外辐照损伤测试系统 极紫外光源参数 聚焦光斑 聚焦能量 
高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究被引量：3
《中国激光》2019年第12期18-25,共8页刘斌 丁金滨 王魁波 周翊 江锐 王宇 
国家科技重大专项(2013ZX02202002)
采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲...
关键词：激光光学 准分子激光器 高重复频率 放电腔 放电冲击波 阴影法 
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