贾晓昀

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：北京交通大学理学院光电子技术研究所更多>>
发文主题：氮化硅薄膜光学特性磁控反应溅射光致发光太阳电池更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《太阳能学报》《光谱学与光谱分析》《材料导报（纳米与新材料专辑）》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市自然科学基金北京市科技新星计划更多>>
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工作气氛对氮化硅薄膜结构的影响被引量：2
《太阳能学报》2008年第11期1344-1347,共4页徐征 贾晓昀 赵谡玲 张福俊 唐煜 周春兰 王文静 
国家高新技术研究发展(863)计划(2006AA03Z0412);国家自然科学基金(60576016);北京市自然科学基金(2073030);博士点新教师基金(20070004031);北京市科技新星计划(2007A024);教育部留学回国科研启动基金、校基金项目(2005SM057;2006XM043)
以石英玻璃和抛光硅片做为衬底材料,采用射频磁控反应溅射法,通过改变 Ar/N_2流量比得到了一系列氮化硅薄膜。用分光光度计对薄膜的光学特性进行了表征;X 射线光电子能谱(XPS)表明薄膜中出现了 Si-N 的键合结构;原子力显微镜(AFM)图显...
关键词：射频磁控反应溅射 氮化硅薄膜 光学特性 
退火及溅射气氛对氮化硅薄膜光致发光的影响
《光谱学与光谱分析》2008年第11期2494-2497,共4页贾晓昀 徐征 赵谡玲 张福俊 赵德威 唐煜 李远 周春兰 王文静 
“863”计划项目(2006AA03Z0412);国家自然科学基金项目(710774013,60576016);教育部博士点基金项目(20070004024);北京市科技新星计划(2007A024);教育部留学回国科研启动基金;高等学校学科创新引智计划(B08002);校基金项目(2005SM057,2006XM043)资助
利用射频磁控反应溅射方法制备富硅的氮化硅薄膜。衬底材料为抛光的硅片,靶材为硅靶,在Ar-N2气环境下,通过改变两种气体的组分比来改变样品成分,并在高纯N2气氛下对其进行高温退火处理。用X射线光电子能谱(XPS)和X射线衍射(XRD)对样品...
关键词：磁控反应溅射 氮化硅 光致发光 量子限域效应 
Si基太阳电池用SiN_x∶H薄膜的研究进展
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2008年第1期247-250,共4页唐煜 周春兰 贾晓昀 王文静 
国家863计划项目(2006AA04Z345)
SiN_x:H薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用,在晶体硅太阳电池(单晶硅、多晶硅)的研究和生产中得到越来越广泛的应用。介绍了SiN_x:H薄膜在硅基太阳电池中的减反射和钝化作用,主要制备方法等研究现状,以及面临的问题和今后的研究...
关键词：太阳电池SiNx: H钝化减反射 
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