陈国

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：中国科学技术大学物理学院物理系更多>>
发文主题：热丝法非晶硅薄膜稳定性太阳能电池硅更多>>
发文领域：电子电信电气工程更多>>
发文期刊：《太阳能学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究被引量：7
《物理学报》1997年第10期2015-2022,共8页陈国 郭晓旭 朱美芳 孙景兰 许怀哲 韩一琴 
国家自然科学基金
用热丝法制备了纳米晶硅薄膜．通过Ｒａｍａｎ散射谱及Ｘ射线谱，系统地研究了沉积气压Ｐｇ、高Ｈ２稀释及衬底与钨丝之间距离对沉积速率、纳米硅薄膜的形成和结构等的影响．计算了沉积过程中的温度场分布．讨论了沉积过程中反应基元的...
关键词：热丝法 纳米晶 硅 薄膜结构 沉积 
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究被引量：6
《太阳能学报》1997年第3期269-272,共4页陈国 朱美芳 孙景兰 郭晓旭 苏夷希 
系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明，沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数，在优化沉积参数的条件下制备非晶硅。
关键词：热丝法 稳定性 太阳能电池 非晶硅薄膜 
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