郭晓旭

作品数：5被引量：33H指数：3
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供职机构：中国科学技术大学物理学院物理系更多>>
发文主题：微晶硅薄膜薄膜微结构微晶硅微结构热丝法更多>>
发文领域：电子电信理学电气工程更多>>
发文期刊：《物理学报》《太阳能学报》《北京同步辐射装置年报》《同步辐射装置用户科技论文集》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究
《同步辐射装置用户科技论文集》1998年第1期89-94,共6页郭晓旭 董宝中 等 
采用高氢稀硅烷热丝化学气相沉积方法制备氢化微晶硅薄膜。其结构特征用Raman谱，红外透射谱，小角X射线散射等来表征。结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比Xc随氢稀释度的提高而增加。而从红外谱计算得到氢含量则随氢稀释度的增加...
关键词：氢化 小射X射线散射 稀释 制备 微晶硅薄膜 微结构 
高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究被引量：20
《物理学报》1998年第9期1542-1547,共6页郭晓旭 朱美芳 刘金龙 韩一琴 许怀哲 董宝中 生文君 韩和相 
国家自然科学基金
采用高氢稀硅烷热丝化学气相沉积方法制备氢化微晶硅薄膜．其结构特征用Ｒａｍａｎ谱，红外透射谱，小角Ｘ射线散射等来表征．结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比χｃ随氢稀释度的提高而增加．而从红外谱计算得到氢含量则随氢稀释...
关键词：氢化 微晶硅 薄膜 微结构 非单晶硅 
微晶硅薄膜小角X射线散射研究被引量：1
《北京同步辐射装置年报》1997年第1期70-71,共2页郭晓旭 董宝中 等 
用小角X射线散射（SAXS），Raman谱，红外透射谱等研究高氢稀硅烷热丝法（HWCVD）制备氢化微晶硅膜微结构，结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比随氢稀释度的提高而增加。SAXS表明薄膜致密度随氢衡释度的增加而增加。结合红外谱和S...
关键词：微晶硅薄膜 小角X射线散射 半导体 红叶光谱 结构 
热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究被引量：7
《物理学报》1997年第10期2015-2022,共8页陈国 郭晓旭 朱美芳 孙景兰 许怀哲 韩一琴 
国家自然科学基金
用热丝法制备了纳米晶硅薄膜．通过Ｒａｍａｎ散射谱及Ｘ射线谱，系统地研究了沉积气压Ｐｇ、高Ｈ２稀释及衬底与钨丝之间距离对沉积速率、纳米硅薄膜的形成和结构等的影响．计算了沉积过程中的温度场分布．讨论了沉积过程中反应基元的...
关键词：热丝法 纳米晶 硅 薄膜结构 沉积 
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究被引量：6
《太阳能学报》1997年第3期269-272,共4页陈国 朱美芳 孙景兰 郭晓旭 苏夷希 
系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明，沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数，在优化沉积参数的条件下制备非晶硅。
关键词：热丝法 稳定性 太阳能电池 非晶硅薄膜 
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