微晶硅薄膜

作品数：132被引量：277H指数：9
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硅基薄膜太阳能电池发展现状被引量：2
《科技创新与应用》2020年第34期53-54,56,共3页柴甜甜 
众所周知,能源驱动城市发展,然而随着传统能源日渐枯竭以及全球环境污染逐日加剧,人类迫切需要寻找新型可再生能源以驱动城市发展。因此,发展可再生能源已成为我国能源结构转型和缓解气候恶化的关键途径。科学研究表明,太阳能发电是一...
关键词：太阳能电池 多晶硅薄膜 非晶硅薄膜 微晶硅薄膜 
用于薄膜太阳能电池的在线TCO玻璃表面织构化的研究
《建筑玻璃与工业玻璃》2020年第1期6-10,共5页刘起英 
感谢国家十三五重点研发项目(2016YFB0303902-02)对本研究的资助。
透明导电氧化物(Transparent conductive Oxides,TCO)玻璃被广泛用于在硅基和碲化镉薄膜太阳能电池中作为前电极材料,除了光伏透射比和电阻率之外,特殊的表面织构对光伏电池组件的光电转换效率影响很大。本文基于现有资料和生产实际对...
关键词：薄膜太阳能电池 光电转换效率 短路电流密度 薄膜电池 非晶硅 透明导电氧化物 金字塔结构 微晶硅薄膜 
放电功率对微晶硅薄膜的晶化调控及光电性质的影响
《四川大学学报（自然科学版）》2019年第2期318-322,共5页祝祖送 尹训昌 张杰 易明芳 闻军 
国家自然科学基金(11447197);安徽省教育厅资助项目(AQKJ2014B019);安徽省自然科学基金(1608085MA21);安庆师范大学资助项目(2017JYXM034)
以SiCl_4和H_2为源气体、采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在不同放电功率下沉积微晶硅薄膜,通过调节放电功率实现了微晶硅薄膜的晶化调控和光电性质的优化,并利用Langmuir探针和质谱计分别对等离子体空间的电子特性和中性基团...
关键词：微晶硅薄膜 晶化控制 光电性质 电子特性 
不同沉积速率下微晶硅薄膜的生长行为研究
《功能材料》2019年第2期2012-2016,共5页鲁媛媛 李贺军 丁旭 
鉴于微晶硅薄膜在沉积过程中先经历一个非晶过渡层才开始晶化的生长特点,试图通过降低薄膜的沉积速率来延长沉积原子在薄膜生长表面的扩散时间,以达到促进晶粒生长的目的。研究结果表明,反应气体气流量的减小可以有效降低薄膜的沉积速率...
关键词：微晶硅薄膜 沉积速率 微观结构 表面形貌 
PECVD沉积参数对非晶硅向微晶硅薄膜转化的影响
《人工晶体学报》2018年第2期297-301,共5页翁秀章 周炳卿 谷鑫 
国家自然科学基金(51262022)
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统,以硅烷和氢气为反应气源,通过改变射频功率、硅烷浓度来制备氢化硅基薄膜材料。研究了沉积参数的变化对硅基薄膜材料微结构的影响。通过红外吸收谱、紫外可见光谱以及X射线衍射谱对样品材料进...
关键词：非晶硅薄膜 PECVD 微晶硅薄膜 微结构 
微晶硅薄膜电池的发展现状及制备技术研究被引量：3
《科技资讯》2016年第33期38-38,40,共2页程华 赵新明 
微晶硅薄膜能够克服非晶硅与多晶硅不足,在光照条件下性能稳定,禁带宽度较低,具有良好的光电转化效率,因此微晶硅薄膜电池是一种非常具有发展前景的薄膜电池。该文综述了微晶硅薄膜电池的发展过程,总结了微晶硅薄膜的制备方法,并根据国...
关键词：微晶硅薄膜 发展现状 制备技术 
优质高稳定性微晶硅薄膜的制备被引量：1
《四川大学学报（自然科学版）》2016年第1期157-162,共6页祝祖送 张杰 易明芳 尹训昌 闻军 
国家自然科学基金(11447197);安徽省教育厅基金(AQKJ2014B019);安徽省自然科学基金(1608085MA21)
对以SiCl_4和H_2为源气体、采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在低温快速沉积优质高稳定性的微晶硅薄膜进行了研究.在低于250℃下,成功制备出了沉积速率高达0.28nm/s、晶化度达80%以上的微晶硅薄膜.通过光照实验,表明该微晶硅薄...
关键词：微晶硅薄膜 光照稳定性 均匀性 PECVD 
沉积温度对PECVD制备微晶硅薄膜性质的影响
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2015年第1期201-204,共4页王生钊 黄奇瑞 卢景霄 石明吉 陈兰莉 郭新峰 
河南省科技攻关项目(132102210144);国家高技术产业计划项目(发改办高技072490);河南省基础与前沿基础研究项目(072300410310)
采用PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术在不锈钢或玻璃衬底上制备微晶Si（硅）薄膜，研究沉积温度对PECVD法所制备的微晶硅薄膜性质的影响。从实验结果中可以看出，随着沉积腔内沉积温度的不断升高，微晶硅薄膜晶化率、晶粒尺寸在2...
关键词：PECVD 沉积温度 微晶硅薄膜 晶化率 晶粒尺寸 
硅烷馈入方式对微晶硅薄膜光发射谱和结构的影响
《材料热处理学报》2015年第4期7-12,共6页李新利 任凤章 马战红 李武会 王宇飞 卢景霄 
河南省科技创新人才计划(144200510009);河南省重点攻关(092102210012)
采用SR500光谱光度计对甚高频等离子体增强化学气相沉积本征微晶硅薄膜过程进行了在线监测,分析了硅烷不同注入方式对等离子体光发射谱和薄膜结构的影响。结果表明,采用硅烷梯度注入时,等离子体中的Hα*、Hβ*和Si H*峰强度逐步升高,且...
关键词：硅烷馈入方式 等离子体 光发射谱 微晶硅薄膜 太阳能电池 
Ar气流量对磁控溅射制备微晶硅薄膜微观结构及光/电学性能的影响
《人工晶体学报》2015年第2期361-367,共7页乔泳彭 蒋百灵 
国家自然科学基金(51272158)
采用射频磁控溅射法在不同Ar气流量条件下制备了多组微晶硅薄膜,研究了Ar气流量对薄膜微观结构及光/电学性能的影响。结果表明:当Ar气流量的较小时,微晶硅薄膜的沉积速率较高,薄膜的晶化率、晶粒尺寸以及粗糙度处于较好的生长态势。同时...
关键词：射频磁控溅射 Ar气流量 微晶硅薄膜 
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