季涛

作品数:2被引量:11H指数:1
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供职机构:兰州大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题:ZNO薄膜衬底温度X射线衍射谱发光特性光致发光谱更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《兰州大学学报(自然科学版)》更多>>
所获基金:中国科学院西部之光基金国家自然科学基金国家杰出青年科学基金甘肃省自然科学基金更多>>
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射频反应溅射制备的ZnO薄膜的结构和发光特性被引量:10
《中国科学(G辑)》2007年第2期218-222,共5页朋兴平 王志光 宋银 季涛 臧航 杨映虎 金运范 
国家杰出青年基金(批准号:10125522);国家自然科学基金(批准号:10475102);西部之光联合学者项目基金资助项目
用射频反应溅射在硅(100)衬底上生长了c轴择优取向的ZnO薄膜,用X射线衍射仪、荧光分光光度计和X射线光电子能谱仪对样品进行了表征,分析研究了溅射功率、衬底温度对样品的结构和发光特性的影响.结果表明,溅射功率100W,衬底温度300~400...
关键词:ZNO薄膜 X射线衍射谱 光致发光谱 衬底温度 射频反应溅射 
In掺杂ZnO薄膜的制备及结构特性研究被引量:1
《兰州大学学报(自然科学版)》2005年第1期82-85,共4页朋兴平 杨映虎 季涛 方泽波 王印月 
甘肃省自然科学基金资助项目(ZS011-A25-050-C)
通过射频反应共溅射法在硅衬底上制备了不同In掺杂量的ZnO薄膜,表征了薄膜的结构和表面形貌,研究了In掺杂量对znO薄膜的结构特性的影响.掠角X射线衍射分析结果表明制备的样品为ZnO薄膜,θ-2θ X射线衍射分析结果表明样品具有小的应力和...
关键词:ZNO薄膜 In掺杂 射频反应共溅射 结构 
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