樊吉龙

作品数：5被引量：39H指数：4
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供职机构：南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室更多>>
发文主题：刚性层磨料抛光垫研磨材料去除机理更多>>
发文领域：金属学及工艺化学工程电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《硅酸盐通报》《激光与光电子学进展》《金刚石与磨料磨具工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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抛光介质对固结磨料化学机械抛光水晶的影响被引量：22
《光学精密工程》2013年第4期955-962,共8页居志兰 朱永伟 王建彬 樊吉龙 李军 
国家自然科学基金资助项目(No.51175260);江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2010516);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.NP2012516);江苏省高校优势学科建设工程资助项目
在固结磨料化学机械抛光中,工件表面与抛光介质易发生水解反应,产生软化层,而软化层厚度直接影响材料去除速率及表面质量。本文采用显微硬度计测量了不同介质条件下水晶表面的变质层厚度,并基于CP-4研磨抛光平台研究了不同抛光介质及温...
关键词：抛光介质 固结磨料 化学机械抛光 软化层 显微硬度 材料去除速率 
固结磨料化学机械研抛K9玻璃的材料去除机理被引量：6
《纳米技术与精密工程》2012年第3期278-283,共6页樊吉龙 朱永伟 李军 叶剑锋 
国家自然科学基金资助项目(51175260;50905086);江苏省自然科学基金资助项目(BK2010512)
采用失重法对固结磨料研抛K9玻璃材料去除过程中的机械与化学作用进行了分离,采用显微硬度方法分析了研抛液对K9玻璃工件表层硬度的影响.研究结果表明:研抛液能与K9玻璃发生化学反应并在其表面形成一层较基质材料软的变质层,变质层厚度...
关键词：化学机械研抛 固结磨料研抛垫 变质层 材料去除机理 
固结磨料抛光垫基体性能与加工性能的实验研究被引量：5
《激光与光电子学进展》2011年第1期105-111,共7页李锁柱 朱永伟 李军 樊吉龙 叶剑锋 
国家自然科学基金(50905086);江苏省自然科学基金(BK2010512);南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目(NS2010127)资助课题
采取不同基体性能的固结磨料抛光垫(FAP),在相同的化学机械抛光(CMP)参数下,研究了溶胀率和铅笔硬度等基体性能对K9光学玻璃加工时的材料去除率(MRR)和三维轮廓表面粗糙度(Sa)等加工性能的影响规律。结果表明,溶胀率和铅笔硬度两个基体...
关键词：光学制造 固结磨料抛光垫 基体性能 加工性能 自修整 
固结磨料研磨中去除机理探索被引量：6
《金刚石与磨料磨具工程》2010年第4期1-6,共6页李茂 朱永伟 叶剑锋 樊吉龙 李军 
国家自然科学基金资助项目(No.50905086);国家自然科学基金资助项目(No.50675104)
结合目前实验室的实际加工条件建立了用FAP(fixed abrasive pad,固结磨料抛光垫)研磨抛光时磨粒嵌入工件表面的切深数学模型,提出了当不考虑抛光垫的弹性变形且FAP中添加的磨粒粒径范围在10～14μm之间时,磨粒压入工件的最大深度值在0.4...
关键词：固结磨料抛光垫 研磨 去除机理 磨屑 
金刚石丸片与固结磨料抛光垫研磨硅片的比较研究被引量：4
《硅酸盐通报》2010年第6期1253-1257,共5页樊吉龙 朱永伟 李军 李茂 叶剑锋 左敦稳 
国家自然科学基金(No.50905086);南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目资助(NS2010127)
采用金刚石丸片和固结磨料抛光垫两种方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)为指标对金刚石丸片和固结磨料抛光垫的研磨性能进行了评价。结果表明:固结磨料抛光垫研磨硅片的材料去除率高于金刚石丸片;研磨后硅片的...
关键词：固结磨料研磨 金刚石丸片 材料去除速率 表面粗糙度 
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