汤雅权

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：北京大学更多>>
发文主题：电极电容式谐振器单片集成亚微米更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《传感技术学报》更多>>
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微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成被引量：4
《传感技术学报》2008年第4期667-671,共5页汤雅权 张海涛 马盛林 于晓梅 
863资助项目(2006AA04Z336)
提出了一种基于SOI技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性。微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路。信号调理电路部分包...
关键词：单片集成 MEMS SOI 仪用放大器 
电容式非制冷红外探测器的设计与热力学特性分析被引量：1
《功能材料与器件学报》2008年第2期298-302,共5页马盛林 汤雅权 于晓梅 
863资助项目(2006AA04Z336)
本文设计了一种基于MEMS工艺的电容式非制冷红外探测,并利用ANSYS对器件的热力学特性进行了分析。使用ANSYS模拟研究了器件温度响应、位移响应与吸收的红外辐射能量的关系,研究了器件结构尺寸对器件性能参数的影响。红外探测器的温度响...
关键词：非制冷 红外探测器 温度响应度 位移响皿絮 ANSYS 
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