于晓梅

作品数：13被引量：23H指数：3
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供职机构：北京大学更多>>
发文主题：红外焦平面阵列悬臂梁单片集成平面阵列MEMS更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术生物学医药卫生更多>>
发文期刊：《中国优生与遗传杂志》《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计被引量：1
《光学精密工程》2011年第4期762-767,共6页李博翰 于晓梅 
国家自然科学基金资助项目(No.61036006); 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2009AA04Z316); 国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2009CB320305)
设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7 W/K...
关键词：红外焦平面阵列 热机械灵敏度 热时间常数 噪声等效温差 
用于微悬臂梁红外焦平面读出电路的片上ADC设计(英文)
《北京大学学报（自然科学版）》2010年第6期921-925,共5页曹君敏 陈中建 鲁文高 张雅聪 于晓梅 赵宝瑛 
国家高技术研究发展计划专项经费(2009AA04Z316);国防预研项目(40405080101)资助
设计了一种用于微悬臂梁红外焦平面读出电路的片上ADC。该ADC采用流水线结构实现,采用带溢出检测的多位第一级和后级功耗逐级缩减的方案优化系统功耗,提高线性度。该设计采用0.35μm的CMOS工艺流片验证。测试结果表明:5V电源电压、10M...
关键词：红外焦平面阵列 微悬臂梁 读出电路 片上模数转换器 
微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成被引量：4
《传感技术学报》2008年第4期667-671,共5页汤雅权 张海涛 马盛林 于晓梅 
863资助项目(2006AA04Z336)
提出了一种基于SOI技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性。微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路。信号调理电路部分包...
关键词：单片集成 MEMS SOI 仪用放大器 
电容式非制冷红外探测器的设计与热力学特性分析被引量：1
《功能材料与器件学报》2008年第2期298-302,共5页马盛林 汤雅权 于晓梅 
863资助项目(2006AA04Z336)
本文设计了一种基于MEMS工艺的电容式非制冷红外探测,并利用ANSYS对器件的热力学特性进行了分析。使用ANSYS模拟研究了器件温度响应、位移响应与吸收的红外辐射能量的关系,研究了器件结构尺寸对器件性能参数的影响。红外探测器的温度响...
关键词：非制冷 红外探测器 温度响应度 位移响皿絮 ANSYS 
超高频体模式MEMS谐振器及其传感系统平台技术研究
《传感技术学报》2008年第3期509-512,共4页章新春 张云峰 赵建业 于晓梅 
863项目资助(2006AA04Z336)
针对体模式MEMS谐振器激励和响应信号的特点,设计集成了激励信号产生和微弱信号检测的传感测量系统。系统通过对谐振器的扫频激励和检测响应信号,可以准确测量谐振器的谐振频率和Q值特性。为了有效测量谐振器产生的高频微弱位移电流信号...
关键词：体模式谐振器 MEMS 微弱电流信号放大 DDS 
面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计被引量：1
《功能材料与器件学报》2008年第1期205-209,共5页黄杰西 李修函 于晓梅 
63资助项目(No.2006AA04Z336)
微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化。本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构。基于硅基MEMS技术制备微型扩散...
关键词：微泵 扩散/收缩泵 扩散/收缩管 鳞片 
SiN_x和SiC材料的红外吸收特性研究被引量：2
《传感技术学报》2006年第05A期1778-1780,1784,共4页王欣 于晓梅 田大宇 
采用LPCVD和PECVD技术制作了不同厚度的SiNx和SiC材料样品,使用傅立叶变换红外光谱仪对其进行了红外吸收特性测试,并通过离子注入的方式对其红外吸收特性进行调节.实验结果表明:LPCVDSiNx材料在8~14μm波段存在吸收峰,而PECVDSiNx和SiC...
关键词：红外 LPCVD PECVD 离子注入 
MEMS与SOI CMOS单片集成的模拟研究
《中国机械工程》2005年第z1期315-317,共3页张海涛 于晓梅 王小保 张大成 
国家自然科学基金资助项目(90207013)
基于MEMS技术和SOI CMOS技术提出了一个包含放大电路与悬臂梁式压阻传感器的集成化方案.分析了半耗尽SOI CMOS和全耗尽SOI CMOS的器件性能,设计了特征尺寸为3μm的半耗尽SOI CMOS模拟放大电路和悬臂梁式压阻传感器的单片集成工艺.通过...
关键词：SOI 半耗尽 悬臂梁 集成化 
PCR基因芯片上荧光PCR反应的研究被引量：2
《中国优生与遗传杂志》2004年第5期1-4,共4页郝麟 朱平 于晓梅 张大成 赵新生 欧阳贱华 
北京大学生物医学跨学科中心资助
目的　探讨能否在基因芯片上进行不同的荧光掺入PCR反应并根据基因芯片上荧光的变化判断基因的变异。方法　利用健康外周血 ,正常脐血DNA ,X连锁遗传性铁粒幼细胞贫血 (XLSA)家系成员 6人外周血DNA做PCR -SSCP ,并测序确定。设计检测此...
关键词：荧光PCR 基因芯片 家系 外用 临床应用 贫血 脐血 PCR反应 SYBR X连锁 
U形阵列式微机械悬臂梁的研究被引量：5
《物理学报》2004年第1期31-36,共6页于晓梅 张大成 王丛舜 李婷 阮勇 
国家自然科学基金 (批准号 :90 2 0 70 13 );教育部留学回国人员科研启动资金;博士后基金资助的课题~~
为提高悬臂梁的分辨率 ,实现悬臂梁的多功能性 ,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁 .从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析 ,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸 .选用多晶硅为力敏材料 ,基于硅微机械加工技术 ,制备U形阵列式悬臂...
关键词：悬臂梁 分辨率 灵敏度 噪声 最小可探测位移 Hooge因子 扫描力显微镜 力敏电阻 
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