王兵冰

作品数：2被引量：5H指数：2
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供职机构：北京大学深圳研究生院更多>>
发文主题：HALO短沟效应SUBNMOSNM更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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Halo注入角度对热载流子效应的影响及优化被引量：2
《固体电子学研究与进展》2007年第1期130-133,共4页王兵冰 汪洋 黄如 张兴 
国家自然科学基金资助项目(90207004)
通过模拟和实验研究了不同的halo注入角度的NMOSFET,研究发现halo的注入角度越大,热载流子效应的退化越严重。考虑到由于热载流子的注入造成栅氧化层损伤,使器件可靠性变差,halo注入时应该采用小的倾角注入。
关键词：HALO 热载流子效应 短沟效应 漏感应势垒降低效应 N型金属-氧化物-半导体场效应晶体管 
Sub-100 nm NMOS Halo工艺优化分析被引量：4
《固体电子学研究与进展》2006年第4期445-449,共5页汪洋 王兵冰 黄如 张兴 
国家自然科学基金资助项目(90207004)
短沟道效应是MOS器件特征尺寸进入Sub-100nm后必须面对的关键挑战之一。Halo结构能够有效地抑制短沟道效应,合理的Halo区掺杂分布会极大地改善小尺寸器件性能。文中采用器件和工艺模拟工具ISE-TCAD研究形成Halo结构的工艺参数对器件性...
关键词：HALO 短沟道效应 离子注入 掺杂分布 
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