张峰燚

作品数：8被引量：24H指数：4
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6英寸砷化镓单晶VGF法生长中坩埚-埚托间隙对晶体生长过程影响被引量：6
《稀有金属》2011年第4期617-622,共6页涂凡 苏小平 张峰燚 黎建明 丁国强 
国家863项目(2002AAF3102)资助
在VGF法生长6英寸GaAs单晶的实际生长过程中,坩埚与坩埚托之间难以实现完全的理想贴合。坩埚与埚托之间的空隙对晶体生长过程中的温场和固液界面形状影响较大。通过模拟计算5种不同的空隙形状时的温场与热应力分布,发现随着空隙面积的增...
关键词：垂直梯度凝固 数值模拟 空隙 固液界面 热应力分布 
数字模拟法研究坩埚锥角对VGF法GaAs单晶生长的影响被引量：4
《稀有金属》2011年第4期525-530,共6页王思爱 苏小平 张峰燚 丁国强 涂凡 
国家“863”高技术研究项目(2002AAF3102)资助
坩埚锥角是诱发VGF法GaAs单晶出现孪晶与多晶的重要因素之一,应用数值模拟的方法对其进行了研究与探讨,研究发现,在晶体生长的放肩阶段,坩埚锥角为60°,90°,120°3种情况下,晶体生长的固液界面均凹向熔体,随坩埚锥角α的增大,接触角θ...
关键词：坩埚锥角 GAAS单晶 数字模拟 
VGF法生长4英寸GaAs单晶固液界面形状和热应力的数值模拟研究被引量：6
《稀有金属》2011年第3期388-393,共6页涂凡 苏小平 张峰燚 黎建明 丁国强 王思爱 
国家863项目(2002AAF3102)资助
采用专业晶体生长数值模拟软件C rysMas,模拟了垂直梯度凝固法(VGF)生长4英寸GaAs单晶过程中的固液界面形状,发现晶体在生长过程中固液界面形状经历了由凹到凸的变化。数值模拟结果表明熔体中和晶体中的轴向温度梯度之比小于0.4时,固液...
关键词：数值模拟 垂直梯度凝固技术 GAAS 固液界面 热应力 
VGF法生长6英寸Ge单晶中热应力的数值模拟优化被引量：3
《稀有金属》2011年第2期244-248,共5页丁国强 苏小平 张峰燚 黎建明 冯德伸 
国家“863”高技术研究项目(2002AAF3102)资助
VGF技术生长单晶时温度梯度较低,生长速率较小,目前已成为生长大直径、低位错密度晶体的主流技术之一。采用数值模拟研究了VGF法6英寸低位错Ge单晶的生长,结果表明在采用自主研发的VGF炉生长6英寸Ge单晶时,晶体生长过程中晶体与熔体中...
关键词：锗单晶 垂直梯度凝固 数值模拟 
VGF法生长6英寸GaAs单晶生长速率的优化被引量：3
《稀有金属》2011年第1期42-46,共5页丁国强 屠海令 苏小平 张峰燚 涂凡 王思爱 
国家"863"高技术研究项目(2002AAF3102)资助
晶体的生长速率关系着晶体质量和生产效率,保证晶体质量的同时,实现较高的生产效率是晶体生长速率优化的主要目标。VGF技术生长晶体时,晶体的生长速率主要取决于控温点的温度及降温速率。在保持加热器控温点不变的情况下,利用数值模拟...
关键词：砷化镓 生长速率 数值模拟 垂直梯度凝固 
10cm VGF法GaAs单晶生长过程中热应力的数值模拟被引量：2
《红外与激光工程》2010年第3期411-413,426,共4页涂凡 苏小平 屠海令 张峰燚 丁国强 王思爱 
国家863计划资助项目(2002AAF3102)
采用数值模拟技术模拟了10cm(4in)VGF法GaAs单晶生长过程中的温场分布、固液界面形貌以及热应力分布。推导得到了固液界面形状与轴向温度梯度和径向温度梯度之间的关系,定义了一个固液界面形状函数,用以表征固液界面偏离度。固液界面偏...
关键词：数值模拟 VGF GAAS 固液界面 热应力 临界剪切应力 
VGF法GaAs单晶位错分布的数值模拟和Raman光谱研究被引量：5
《稀有金属》2010年第2期237-242,共6页涂凡 苏小平 屠海令 张峰燚 丁国强 王思爱 
国家863项目(2002AAF3102)资助
采用数值模拟技术和Raman光谱法对4inch垂直梯度凝固(VGF)法GaAs单晶位错进行了研究。运用数值模拟软件计算了GaAs晶体生长过程中的位错分布,模拟计算与实验结果一致。通过Raman光谱测量,定量计算了晶片表面的残余应力分布。Raman测量...
关键词：数值模拟 GaAs 位错密度 残余应力 Raman光谱法 位错胞状结构 
4英寸VGFGaAs单晶生长的数值模拟与实验研究被引量：11
《稀有金属》2009年第2期211-216,共6页丁国强 苏小平 屠海令 张峰燚 涂凡 
国家“863”高技术研究项目(2002AAF3102)资助
利用数值模拟和实验相结合的方法,研究了4英寸VGF GaAs单晶的生长。首先基于炉体结构和所采用材料,建立一个和真实单晶生长系统接近的炉体模型。根据此模型,采用晶体生长模拟软件CrysMas计算得到整个炉体内的温度分布、晶体及熔体的温...
关键词：砷化镓 单晶 数值模拟 垂直梯度凝固 
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