方茹

作品数：3被引量：6H指数：2
导出分析报告
供职机构：南京航空航天大学更多>>
发文主题：多晶硅薄膜纳米硅叠层结构等离子体辅助大晶粒更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《物理学报》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划江苏高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
等离子体辅助铝诱导纳米硅制备多晶硅的研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2013年第1期68-72,共5页方茹 沈鸿烈 吴天如 张磊 刘斌 
国家高技术研究发计划(863计划)项目(2006AA03Z219);国家自然科学基金项目(61176062);江苏高校优势学科建设工程资助项目
以超白玻璃为衬底,利用热丝化学气相沉积和磁控溅射法制备了Glass/nc-Si/Al叠层结构,置入管式退火炉中进行等离子体辅助退火。样品在氢等离子体氛围下进行了400,425和450℃不同温度,5 h的诱导退火,用光学显微镜和拉曼光谱对样品进行了...
关键词：等离子体辅助退火 铝诱导 纳米硅 多晶硅薄膜 氢钝化 
铝诱导纳米硅制备大晶粒多晶硅薄膜的研究被引量：3
《人工晶体学报》2011年第6期1387-1393,共7页方茹 沈鸿烈 吴天如 刘斌 沈剑沧 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA03Z219);江苏高校优势学科建设工程资助项目
本文以超白玻璃为衬底,利用热丝化学气相沉积和磁控溅射法制备了Glass/nc-Si/Al的叠层结构,然后置于管式退火炉中在H2气氛下进行5 h诱导晶化,用XRD、光学显微镜、扫描电镜和拉曼光谱对样品进行了表征。结果表明所有样品都是有(111)择优...
关键词：大晶粒 多晶硅薄膜 铝诱导 纳米硅 
变温退火制备铝诱导大晶粒多晶硅薄膜的机理研究被引量：3
《物理学报》2010年第12期8770-8775,共6页唐正霞 沈鸿烈 江丰 方茹 鲁林峰 黄海宾 蔡红 
国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z219);南京航空航天大学博士学位论文创新与创优基金(批准号:BCXJ08-10)资助的课题~~
为了缩短铝诱导法制备大晶粒多晶硅薄膜的退火时间,用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积了a-Si/SiO2/Al叠层膜,并用两种方法进行变温退火.分析了变温退火工艺对铝诱导晶化过程的影响,着重讨论了退火过程中温度由低温升到高温时不形成小晶...
关键词：薄膜 多晶硅 铝诱导晶化 变温退火 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部