铝诱导晶化

作品数：32被引量：53H指数：5
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铝层厚度对铝诱导氢化非晶硅晶化的影响被引量：1
《当代化工研究》2020年第6期40-41,共2页王丽云 
本文依据马普金属研究所对铝诱导晶化机制的理论基础,通过制备不同Al层厚度的Al/a-Si:H叠层样品的晶化结果来探究铝诱导氢化非晶硅的晶化机制。结果表明:随着Al层厚度增加,Al/a-Si:H叠层样品晶化得到的多晶硅晶粒尺寸增加,进一步实验验...
关键词：铝诱导晶化 氢化非晶硅 拉曼光谱 
低温铝诱导非晶硅晶化的热力学机理研究
《云南师范大学学报（自然科学版）》2019年第5期15-20,共6页张力元 杨雯 段良飞 杨培志 杜凯翔 
云南科技计划重点资助项目(2017FA024);国家自然科学基金云南联合基金资助项目(U1802257);云南省高校科技创新团队支持计划资助项目
采用磁控溅射方法沉积了Al/Si薄膜,通过自然氧化形成中间层,再结合快速光热退火制备出微晶硅.研究了铝诱导非晶硅晶化的两个热力学过程:Si的扩散和Si的形核长大.利用拉曼散射光谱仪和X射线衍射仪对薄膜进行了结构表征.结果表明:在铝诱...
关键词：非晶硅薄膜 磁控溅射 铝诱导晶化 热力学机理 中间氧化层 
磁控共溅射低温制备多晶硅薄膜及其特性研究被引量：1
《光谱学与光谱分析》2016年第3期635-639,共5页段良飞 杨雯 张力元 李学铭 陈小波 杨培志 
国家自然科学基金项目(U1037604);云南师范大学研究生创新资金项目资助
多晶硅在光电子器件领域具有较为重要的用途。利用磁控溅射镀膜系统,通过共溅射技术在玻璃衬底上制备了非晶硅铝(α-Si/Al)复合膜,将Al原子团包覆在α-Si基质中,膜中的Al含量可通过Al和Si的溅射功率比来调节。复合膜于N2气氛中进行350℃...
关键词：共溅射 铝诱导晶化 低温退火 多晶硅 特性 
界面对金属诱导硅[111]取向薄膜生长的影响
《材料科学》2015年第2期46-53,共8页胡承威 夏晓红 鲍玉文 高云 
国家教育部基金(批准号:211108,20134208110005);湖北省科技厅(批准号:2011BAB032)基金的支持。
通过金属铝诱导非晶硅晶化技术,在玻璃衬底上获得了[111]取向生长的多晶硅薄膜。研究了Al诱导Si取向结晶生长所需的退火温度和时间。通过对Al/Si界面层SiO2层厚度的改变,研究了界面SiO2层对取向结晶生长的影响。通过在Al层表面反应沉积A...
关键词：铝诱导晶化 非晶硅 界面 
铝分层诱导晶化非晶硅的研究
《厦门大学学报（自然科学版）》2014年第5期704-710,共7页孙钦钦 王鹏 陈松岩 李成 黄巍 
国家自然科学基金(61176050;61036003;61176092);福建省自然科学基金(2012H0038)
铝诱导晶化(AIC)法是一种低成本、低温制备高质量多晶硅薄膜的方法.采用磁控溅射和自然氧化法在石英衬底上生长铝/三氧化二铝/非晶硅结构的材料,然后进行低温(低于硅铝共熔温度577℃)退火处理.通过共焦显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、拉...
关键词：铝诱导晶化 双层结构 择优取向 
低温铝诱导晶化制备纳米晶硅薄膜的物相和光学性能研究被引量：1
《光谱学与光谱分析》2014年第8期2169-2174,共6页段良飞 杨雯 杨培志 张力元 宋肇宁 
国家自然科学基金联合基金项目(U1037604)资助
采用射频磁控溅射镀膜系统,在玻璃衬底上制备了非晶硅(α-Si)/铝(Al)复合薄膜,结合氮气(N2)气氛中低温快速光热退火制备了纳米晶硅(nc-Si)薄膜;利用光学显微镜、共焦光学显微仪、X射线衍射(XRD)仪、拉曼散射光谱(Raman)仪和紫外-可见光...
关键词：纳米晶硅 铝诱导 物相 光学性能 
铝诱导晶化低温制备多晶硅薄膜的机理研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2013年第11期1139-1143,共5页王成龙 苗树翻 范多旺 
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(批准号:2012CB626805);国家国际科技合作专项项目(批准号:2011DFA061850)
根据热力学第二定律的Gibbs自由能描述,理论研究了铝诱导晶化(AIC)制备多晶硅薄膜的铝诱导层交换(ALILE)机理。用数学模型描述了ALILE过程中a-Si原子通过Al2O3缓冲层向铝层扩散的动力学过程。在此模型框架下,根据多晶硅薄膜制备过程中...
关键词：多晶硅薄膜 铝诱导晶化 激活能 
非晶硅薄膜的制备及晶化研究被引量：2
《云南师范大学学报（自然科学版）》2013年第2期16-19,共4页段良飞 张力元 杨培志 化麒麟 邓双 廖华 
国家自然科学基金联合基金资助项目(U1037604)
采用磁控溅射技术首先在玻璃基片、单晶硅片上溅射非晶硅薄膜再在其表面溅射铝膜,并用快速退火炉在不同温度下进行退火。利用台阶仪、拉曼散射光谱(Raman)仪和X射线衍射(XRD)仪对薄膜进行性能表征。结果表明:在功率120W,气压1.5～2.5pa...
关键词：非晶硅薄膜 磁控溅射 铝诱导晶化 多晶硅 
铝诱导过程中硅铝厚度比优化的研究
《功能材料》2012年第23期3312-3315,共4页唐正霞 沈鸿烈 江丰 
国家自然科学基金资助项目(61176062);江苏省优势学科资助项目(PAPD);金陵科技学院博士启动基金资助项目(jit-b-201206)
以康宁Eagle 2000玻璃为衬底,用磁控溅射法制备了不同硅铝厚度比的非晶硅/二氧化硅/铝叠层,在氩气保护下于450℃退火一定时间,制备出铝诱导多晶硅薄膜。用Raman光谱和紫外反射光谱讨论了硅铝厚度比对薄膜结晶性能的影响。结果表明,硅铝...
关键词：薄膜 多晶硅 铝诱导晶化 厚度比 
铝诱导晶化制备多晶硅薄膜研究进展被引量：1
《材料导报》2012年第21期148-152,共5页翟小利 谭瑞琴 戴世勋 王维燕 黄金华 宋伟杰 
宁波市新型光电功能材料及器件创新团队资助(2009B21007)
铝诱导晶化(AIC)技术制备多晶硅(Poly-Si)薄膜因处理温度低、退火时间短,且所制备的薄膜晶粒尺寸大而受到广泛关注。阐述了AIC法制备Poly-Si薄膜的交换机制,着重讨论了AIC过程中工艺条件对制备Poly-Si薄膜质量的影响,简单介绍了AIC制备...
关键词：铝诱导晶化 多晶硅薄膜 太阳电池 
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