刘斌

作品数：9被引量：29H指数：3
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供职机构：南京航空航天大学材料科学与技术学院更多>>
发文主题：磁控溅射多晶硅薄膜石墨烯磁控溅射法氧化亚铜更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《电子器件》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划江苏高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金江苏高校优势学科建设工程项目更多>>
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Al-Sn共掺杂ZnO薄膜的结构与光电性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2013年第2期115-119,共5页刘斌 沈鸿烈 冯晓梅 王威 岳之浩 吴天如 
国家863计划项目(2006AA03Z219);江苏高校优势学科建设工程资助项目
采用射频磁控共溅射法在玻璃衬底上制备出了Al与Sn共掺杂的ZnO(ATZO)薄膜。在固定ZnO∶Al(AZO)靶溅射功率不变的条件下,研究了Sn靶溅射功率对ATZO薄膜的结晶质量、表面形貌、电学和光学性能的影响。结果表明,制备的ATZO薄膜是六角纤锌...
关键词：ZNO薄膜 磁控溅射 Al-Sn共掺杂 光电特性 
等离子体辅助铝诱导纳米硅制备多晶硅的研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2013年第1期68-72,共5页方茹 沈鸿烈 吴天如 张磊 刘斌 
国家高技术研究发计划(863计划)项目(2006AA03Z219);国家自然科学基金项目(61176062);江苏高校优势学科建设工程资助项目
以超白玻璃为衬底,利用热丝化学气相沉积和磁控溅射法制备了Glass/nc-Si/Al叠层结构,置入管式退火炉中进行等离子体辅助退火。样品在氢等离子体氛围下进行了400,425和450℃不同温度,5 h的诱导退火,用光学显微镜和拉曼光谱对样品进行了...
关键词：等离子体辅助退火 铝诱导 纳米硅 多晶硅薄膜 氢钝化 
硼掺杂对热丝CVD法制备纳米晶硅薄膜微结构与光电性能的影响
《真空科学与技术学报》2012年第6期509-513,共5页潘园园 沈鸿烈 吴天如 张磊 刘斌 
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2006AA03Z219);江苏高校优势学科建设工程资助项目
采用热丝化学气相沉积法制备了不同B2H6掺杂比例（B2H6/SiH4为2%-15%）的p型纳米晶硅薄膜,通过探索B2H6掺杂比例、晶化率、光学带隙和电学性能（电导率、载流子浓度、霍尔迁移率）之间的关系以及薄膜掺杂机理来研究B2H6掺杂比例对薄膜...
关键词：掺杂比例 硼掺杂 纳米晶硅 热丝化学气相沉积 电导率 
抛光铜箔衬底上石墨烯可控生长的研究被引量：9
《人工晶体学报》2012年第2期407-413,共7页孙雷 沈鸿烈 吴天如 刘斌 蒋烨 
国家自然科学基金(61176062);江苏优势学科建设工程项目(PAPD)
本文报导以固态聚苯乙烯为碳源,经机械抛光和电化学抛光双重处理的铜箔为衬底,用CVD法进行石墨烯可控生长的研究结果。用光学显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、光透射谱、扫描隧道显微镜和场发射扫描电镜对生长的石墨烯进行了表征。研...
关键词：固态碳源 机械抛光 电化学抛光 石墨烯 可控生长 
射频磁控溅射法制备AZO/p-Si异质结及其性能研究
《电子器件》2011年第6期621-624,共4页刘斌 沈鸿烈 岳之浩 江丰 冯晓梅 潘园园 
国家863计划项目(2006AA03Z219);江苏高校优势学科建设工程资助项目
利用射频磁控溅射法,在p-Si衬底上生长了Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜,并进而制备了AZO/p-Si异质结。X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计、四探针测试仪和霍尔效应测试仪测量表明,AZO薄膜具有良好的结晶质量、光学和电学特性。暗态下的I-V测...
关键词：射频磁控溅射 AZO/p—Si异质结 I-V特性 太阳电池 
太阳电池用单晶Si表面的织构化研究被引量：6
《电子器件》2011年第5期498-502,共5页吕红杰 沈鸿烈 沈洲 刘斌 李斌斌 
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2006AA03Z219);江苏高校优势学科建设工程项目
在碱溶液各向异性腐蚀单晶硅片制备绒面的过程中,固定反应温度和添加剂体积分数,重点研究了金字塔倾斜角α的大小与反射率间的关系,并分析了反应时间和NaOH溶液的浓度对表面织构的影响。用分光光度计测量了制备绒面的反射率,结果表明,...
关键词：太阳电池 单晶硅 金字塔 倾斜角α 反射率 
铝膜沉积温度对铝诱导结晶化多晶硅薄膜性能的影响被引量：2
《电子器件》2011年第4期370-373,共4页陈海力 沈鸿烈 张磊 杨超 刘斌 
国家863计划项目(2006AA03Z219)
以超白玻璃为衬底,采用热丝化学气相沉积法沉积初始非晶硅膜,经自然氧化形成二氧化硅层,最后利用磁控溅射法在不同衬底温度下沉积铝膜,制备了glass/Si/SiO_2/Al叠层结构并对其进行铝诱导晶化形成多晶硅薄膜。用X射线衍射,光学显微镜和...
关键词：铝膜沉积温度 铝诱导晶化 多晶硅薄膜 磁控溅射 
铝诱导纳米硅制备大晶粒多晶硅薄膜的研究被引量：3
《人工晶体学报》2011年第6期1387-1393,共7页方茹 沈鸿烈 吴天如 刘斌 沈剑沧 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA03Z219);江苏高校优势学科建设工程资助项目
本文以超白玻璃为衬底,利用热丝化学气相沉积和磁控溅射法制备了Glass/nc-Si/Al的叠层结构,然后置于管式退火炉中在H2气氛下进行5 h诱导晶化,用XRD、光学显微镜、扫描电镜和拉曼光谱对样品进行了表征。结果表明所有样品都是有(111)择优...
关键词：大晶粒 多晶硅薄膜 铝诱导 纳米硅 
射频反应磁控溅射法制备N掺杂p型氧化亚铜薄膜被引量：5
《真空科学与技术学报》2011年第5期570-573,共4页林龙 李斌斌 鲁林峰 沈鸿烈 刘斌 
江苏省科技计划项目资助(SBK200910177);南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目资助(NS2010160)
通过射频反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备N掺杂的Cu2O薄膜,采用X射线衍射、分光光度计、X射线光电子能谱和霍尔效应等检测,研究了氮气掺杂对Cu2O薄膜性能的影响。结果表明:随着N原子的掺入,薄膜的结晶质量下降,光学带隙从2.28 eV升至2...
关键词：氧化亚铜 磁控溅射 霍尔效应 X射线光电子谱 
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