李志炜

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：南京大学更多>>
发文主题：纳米压印技术纳米压印杨氏模量高分子纳米高分子薄膜更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《南京大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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一种新型多官能度乙烯基醚树脂的制备及在光刻负胶中的应用
《南京大学学报（自然科学版）》2010年第1期34-40,共7页陈明 张鉴 李志炜 葛海雄 袁长胜 陈延峰 
国家自然科学基金(50673040)
以苯乙烯,2-异氰酸甲基丙烯酸酯(IEMA),以及乙二醇单乙烯基醚(EGME)等为原料,分两步合成了一种主链为聚苯乙烯结构的多乙烯基醚(VEs)树脂(PSIM-VE).通过测定该树脂的红外光谱、核磁氢谱及核磁碳谱,确定了其分子结构式.测定了该树脂的紫...
关键词：乙烯基醚 自由基共聚合 紫外光固化 光刻负胶 
基于纳米压印技术制备200nm周期金自支撑透射光栅被引量：1
《南京大学学报（自然科学版）》2009年第4期517-522,共6页袁远 顾艳妮 李志炜 张鉴 袁长胜 葛海雄 陈延峰 
国家高技术研究发展计划(2007AA03Z334)
采用纳米压印技术作为制备亚微米周期光栅图案的核心技术,并结合反应离子刻蚀,电子束蒸镀,微电镀,紫外光刻,湿法刻蚀成功制作了面积为5 mm×8 mm、周期为200 nm、占空比近1∶1的大面积金自支撑透射光栅.首先利用紫外光固化纳米压印技术...
关键词：纳米压印 透射光栅 微电镀 反应离子刻蚀 
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