王雄

作品数：2被引量：1H指数：1
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发文主题：微机电系统光纤激光MEMSPVD原子力显微镜更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>
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新型摇摆质量微陀螺的设计与制作(英文)
《纳米技术与精密工程》2011年第5期412-416,共5页王雄 肖定邦 周泽龙 陈志华 吴学忠 李圣怡 
国家自然科学基金资助项目(51005239)
首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺.设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺.利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术,简化了该微陀螺的制作工艺.该微结构的对称性、一致性和加工精度有很大改善,尤其是振...
关键词：摇摆质量陀螺 微陀螺 体微加工 各向异性湿法腐蚀 
PVD溅射技术在MEMS器件制作中的应用被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1434-1436,1440,共4页王雄 吴学忠 
国家自然基金资助项目(50375154)
简单介绍了PVD溅射系统和溅射原理.实验分析了PVD溅射技术在微晶玻璃基片溅射沉积Cu膜时,沉积速率随相关工艺参数变化而变化的几点规律.给出了用PVD溅射技术沉积的Cu膜的表面形貌(AFM)图和显微镜照片.
关键词：微机电系统 PVD溅射 薄膜沉积速率 原子力显微镜 
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