路海林

作品数：2被引量：1H指数：1
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发文主题：超大规模集成电路光刻胶SEM集成电路绝缘介质更多>>
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双层金属化工艺中绝缘介质的SEM研究
《微处理机》2003年第3期10-11,共2页王嵩宇 路海林 袁凯 郭长厚 
本文介绍了扫描电子显微镜 ( SEM)的器件剖面分析技术 ,并对双层金属化工艺中的技术难点进行了分析和研究。
关键词：双层金属化工艺 绝缘介质 SEM 集成电路 扫描电子显微镜 
微细线条加工中光刻精度的保证被引量：1
《微处理机》2002年第2期23-26,共4页陈东石 王冬梅 路海林 
论述了光刻在集成电路生产中的重要性 ,讨论了各种行之有效的光刻精度的保证方法 。
关键词：微细线条加工 光刻精度 光刻胶 超大规模集成电路 制造工艺 
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